DDG-I DDG-I动态气体稀释装置
产品简介
详细信息
1、稀释装置标准配置有两路质量流量控制系统,可定制多路2、单路流量范围:(5,10,20,30,50,100,500,1000,2000…)SCCM,可定制3、单路流量重复性:<0.2%4、单路流量线性误差:≤±(0.5~1)%5、单路流量准确性:<±1%6、预热时间:15分钟7、仪器电源:交流 220 V±10%/50 Hz8、使用环境:5℃~45℃9、工作压差范围:(0.1~0.5)MPa10、 工作zui大压力:(3,10)Mpa11、 外型尺寸:420mm x 320mm x220mm12、 净重: 8.8kg