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测量/计量仪器温度计量仪器红外测温仪

EX-S-3FP EXACTUS红外测温仪

供应商：
北京宇冠世纪科技有限公司
联系人：
Johnson 查看联系方式
地址：

产品简介

BASF公司 EXACTUS红外测温仪拥有专有技术，测温精度高达1.5℃, 测温重复性0.1℃，非常适用于晶圆的外延生长，氧化扩/散，快速退火等工艺的温度测量。根据响应波长以及光学镜头的不同包括诸多型号如：EX-S-3FP, EX-S-7PY, EX-S-3PY, EX-S-2PY等等

详细信息

主要特点

  • 使用短波进行低温测量 (≥ 25 ºC)

  • 精密度高, 分辨率达 0.01 ºC , 测温精度1.5 ºC

  • 测温重复性 0.1 ºC , 温漂不高于 0.1 ºC / 年

  • 测量速度达 1,000 值 / 秒

  • 数字/或模拟输出, 易于集成到控制系统

  • 可同时进行多达8通道的数据采集

详细说明

作为拥有30多年历史的贵金属热电偶行业先驱者, BASF已将其温度测量技术专长应用于光学温度测量. EXACTUS红外测温仪取得了技术性突破，在非接触式温度测量中提供了显著的性能优势 .

EXACTUS红外测温仪适用范围广泛.与其他典型的测量技术相比，超灵敏电子技术、精密光学技术以及利用短波长测量低温的能力使得过程控制更加严格、精度更高、整体性能更好.

BASF的原创技术在控制晶圆之间温度和薄膜厚度的均匀性方面具有许多优势. 高度敏感的电子学和先进的光学技术意味着可以用更短波长的探测器来测量辐射能. 这减少了晶圆透射及发射率造成的误差.此外,高速测量和高分辨率确保了控温和噪声抑制的优异性能. 由此提供了更好的晶圆温度监控和生产工艺.

典型应用

  • 硅晶生长

  • 薄膜沉积

  • 激光/感应焊接

  • 玻璃加工

  • 工业加热




技术参数

测量参数
温度范围:

单色测温：
65 – 1150℃(工作波长 0.7 - 1.6 μm)
100 – 1900℃ (工作波长 1.55 μm)
120 – 3000℃(工作波长 0.7 - 1.6 μm)
280 – 2200℃(工作波长 0.9 μm)
350 – 3000℃ (工作波长 0.9 μm)
500 – 3000℃ (工作波长 0.65μm)
采用特殊的光学器件可测量低温至：
200℃(工作波长 0.90μm)
25℃(工作波长 0.7-1.6μm)

测量精度:优于1.5℃ 或 0.15%测值
分辨率:

最高0.01℃

重复精度:0.1℃
温度漂移:最大 0.10℃/年
环境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它温度
测量速率:最高1000 测值/秒, 响应时间1ms
D:S标准镜头, 40：1
高分辨率镜头, 200:1
可按需订制
物理参数
供电:12-28 VDC, 3W
存储温度:-20 to 70℃
环境温度:

电子器件: 0 - 60℃
恶劣环境下专用镜头: 0 - 250℃
高温光纤: 0 - 250℃

外壳材质:传感器和镜头外壳，304 不锈钢/铝；
气吹外壳，铝；
恶劣环境专用镜头: 304 不锈钢；
重量:标准高温计，0.510 kg (1.125 lbs.)
光纤传感器，0.198 kg (7 oz.)






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