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 等离子体和固体，液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。等离子体状态中存在下列物质;处干高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。
对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态，等离子体的"活性"组分包括;离子、电子、活性基团，激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。
等离子体中粒子的能量一般约为几个至十几电子伏特，大干聚合物材料的结合键能(几.个至一几.电子伏特)，可以破创有机大分子的化学键而形成新键:但远低干高能放射性射线，只涉及材料表面，不影响其体的性能。外干非热力学平衡状态下的低温等离子体中，电子具有较高的能量，可以断裂材料表面分子的化学键，提高粒子的化学反应活性(大于热等离子体)，而中性粒子的温度接近率温，这些优点为热敏性高分子聚合物表面改性提供了话宜的条件，通过低温等离子体表面处理，材料表面发生多
种的物理、化学变化，或产生刻蚀而粗糙，或形成致密的交联层，或引入含氧极性基团，使亲水性、粘结性、可染色性、生物每容性及电性能分别得到改善。在话宜的工艺条件下外理材料表面，使材料的表面形态发生了显著变化，引入了多种含氧基，才使表面中非极性，难粘性转为有一定极性，易粘性和亲水性，有利干粘结，涂着和印刷，在电极两端施加交流高频高压。
使两电极间的空气产生气体弧光放电而形成等离子区。电子在运动中不断与气体分子发生碰撞，产生了大量新的电子，当这些电子到达阳极时，就会在介质表面集聚下来而实现对表面进行改性。