压电 · 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)
产品简介
• 65 mm × 65 mm × 12 mm极紧凑外形设计
• 闭环控制 · 位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O
详细信息
压电 · 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)
室温 ·压电运动解决⽅案 —“.Lab 系列“ 良好封装的位移台
外形紧凑，动⼒性能不折扣的压电线性台；同时保证优质的价格空间。
• 超安静运动， 20 kHz驱动频率
• 65 mm × 65 mm × 12 mm极紧凑外形设计
• 闭环控制 · 位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O)
• ⾼精度 · 空间传感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可选
• 经济型 · 空间传感分辨率(.R) 100-200nm
• 最⼩步伐优于 10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
• ⽀持⽆磁( .NM)、⾼真空( .HV)和超⾼真空 ( .UHV)选件
2D ·尺⼨图
LS65x.Lab.O / .R 压电线性台 — 技术参数
可选版本 ⇨ | 正常版本 | .NM | .HV | .UHV | |
.NM 绝对⽆磁版本； .HV， ⾼真空版本 ; .UHV ，超⾼真空版本； | |||||
1 底⾯尺⼨*⾼度 | 65 × 65 mm × 12 mm | ||||
2 主体材料 | 不锈钢 | 纯钛 | 不锈钢 | 不锈钢 | |
3 线缆 & 接头 | 标准屏蔽线缆 DSub9 接头 | kapton漆包线， PEEK-2mm插针 | |||
运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得) | |||||
4 运动⾏程 | 30 mm | ||||
5 最⼤速度 | ~ 20 mm/s | ||||
6 最⼩步伐 | ~ 10 nm | ||||
7 驱动频率 | Max. 20 kHz (超安静运动) | ||||
8 最⼤⽔平推⼒ | 2 N | ||||
9 保持⼒ | 5 N | ||||
0.3 mrad / 0.2 mrad | |||||
10 全⾏程俯仰/偏摆 | |||||
运动参数-空间推荐安装形式 II. (下列性质均在推荐安装形式下测得) | |||||
11 | 最⼤垂直负载 | 2 N | |||
12 | 保持⼒ | 5 N | |||
传感精度 | |||||
13 位置传感类型 | - 电阻型传感( .R ) - 光栅尺传感( .O ) | ||||
14 位置传感量程 | 30 mm | ||||
15 位置传感分辨率 | - 电阻型传感( .R )， 100-200 nm - 光栅尺传感( .O )， 10 nm， 1nm可选(默认 10nm) | ||||
