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范围压电扫描台Carrier.L7550.XY

室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程载物台 — 精密光学，半导体表征

室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ 大行程载物台 — 精密光学，半导体表征

产品特⾊

• XY ⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm

• 最⼩步伐尺⼨约20 nm

• 最⾼速度 20 mm/s

• 闭环传感，空间分辨率 100 nm / 10 nm

• 全⾏程运动中，保证通孔 85 mm × 65 mm

• ⽀持⽆磁 ( .NM ) & 超⾼真空 ( .UHV )

• 主体铝合⾦(硬质氧化发⿊)

2D ·尺⼨图

Carrier.L7550.XY ⼤范围压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨	正常版本	.NM	.HV	.UHV
.NM 绝对⽆磁版本； .HV，⾼真空版本 ; .UHV ，超⾼真空版本；
1 运动⽅向	X Y
2 外形尺⼨	250 mm × 200 mm × 30 mm
3 必须安装空间	325 mm × 250 mm
4 有效穿孔	85 mm × 65 mm
5 主体材料	铝合⾦
6 线缆 & 接头	标准屏蔽线缆 DSub9 接头		kapton漆包线， PEEK-2mm插针
7 ⼯作温度	10 – 40 °C
运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得)
8 运动⾏程	75 mm × 50 mm
9 最⼤速度	~ 20 mm/s
10 最⼩步伐	~ 30 nm
11 驱动频率	Max. 20 kHz (超安静运动)
12 最⼤负载	2 kg
13 全⾏程俯仰/偏摆	0.8 mrad
传感精度
14 位置传感类型	- 电阻型传感( .R ) - 光栅尺传感( .O )
	75 mm × 50 mm
15 位置传感量程
	- 电阻型传感( .R )， 100-200 nm - 光栅尺传感( .O )， 10 nm， 1nm可选(默认 10nm)
16 位置传感分辨率