VTC-600-2HD-1000双靶磁控溅射仪
产品简介
详细信息
产品简介：VTC-600-2HD-1000双靶磁控溅射仪是我公司自主新研制开发的一款高真空镀膜设备，可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-2HD-1000双靶磁控溅射仪配备有两个靶枪，一个弱磁靶用于非导电材料的溅射镀膜，一个强磁靶用于铁磁性材料的溅射镀膜。与同类设备相比，且具有体积小便于操作的优点，且可使用的材料范围广，是一款实验室制备各类材料薄膜的理想设备。
| 产品型号 | VTC-600-2HD-1000双靶磁控溅射仪 |
| 主要特点 | 1、配置两个靶枪，一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜，一个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜。 2、可制备多种薄膜，应用广泛。 3、体积小，操作简便。 |
| 技术参数 | 1、输入电源：220V/50Hz 2、溅射靶数量：2 3、靶枪冷却方式：水冷 4、极限真空度：7.4E-5pa 5、真空室规格：Φ300×330 mm 6、真空系统：VRD-16机械泵 FF-100/150涡轮分子泵 7、恢复真空：系统从大气抽至5.0E-3pa≤30 min（系统短时间暴露大气） 8、充气系统：2路质量流量计（１路氩气100scc、２路氩气200scc）特殊气体可定制 9、溅射靶规格：Φ2"，厚度0.1-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同） 10、样品台：Φ140mm/可旋转（1～20rpm）/可加热（室温～1000℃） |
| 产品规格 | 主机尺寸：宽900mm×深650mm×高1100mm |