P3 粗糙度测量仪P3
产品简介
详细信息
- 测量具有非破坏性:采用白光共聚焦技术,可获得纳米级分辨率
- 测量范围大:15mm×15mm,无需进行图像拼接
- 可测样品的zui大坡度:87oC
- 测量范围广:可测平面、曲面、球面、透明、半透明、高曲折度、抛光、粗糙样品
- 不受环境光的影响
- 不受样品反射率与形状的影响
- 操作简单:样品无需特殊处理优于传统的探针技术与干涉技术形貌仪
主要技术参数:
1,扫描范围:1×1,2×2,3×3,4×4,5×5,10×10,15×15(mm)
2, 扫描步长:1×1,2×2,5×5(μm)
3, Z方向测量范围:300μm
4, Z方向测量分辨率:8nm
5, Z方向测量精度:60nm
6,横向光学分辨率:2.6μm
产品应用:
MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料,光学元件、陶瓷和*材料的研发