500ºC真空热压机VHP-5T-4
产品简介
详细信息
产品简介：500ºC真空热压机VHP-5T-4是一款电动真空平板式真空热压机，专门用于晶片的焊接和薄膜转移，其可处理样品尺寸为100mm×100mm，工作温度为500℃，在此温度下可对样品实加的压力为6T（七月份更改为压力40T）。
500ºC真空热压机VHP-5T-4操作视频
| 产品型号 | 500ºC真空热压机VHP-5T-4 |
| 主要特点 | 1、加热平台中间嵌有1000W的加热管，可达到快速加热的效果；加热平台顶端设有水冷管（当工作温度高于200 ℃时请注入冷却水（>15L/min）），以达到快速冷却的效果。 2、采用两个精密的温控器独立控制两块加热平台，且可设置30段升降温程序，采用PID方式进行温度调节，并带有过热和断偶保护功能。 3、使用控温软件和PC接口可将温度程序和温度曲线导入计算机。 4、数字压力显示器安装在真空腔体外，可设置其压力，当压力达到设置值时电机将自动停止。 5、液压装置和加热台都置于真空腔体内，且腔体采用304不锈钢制作，并焊有加强筋（防止真空状态下腔体变形）。 6、真空腔体前端设有观察窗。 7、一个高灵敏度的真空计安装于真空腔体上，测量内部的真空度。 |
| 技术参数 | 1、电源：单相AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率：2500W 3、加热平台：采用高温合金钢制成，可承受温度500℃，尺寸135mm×135mm，两平台间可移动距离15mm 4、液压泵：40T的电动液压机与真空腔体相连接，压力控制精度为±0.01MPa（0.1kg/cm2），自动压力控制并带有数显 5、工作温度：500℃ 6、升温速率：<10℃/min 7、控温精度：±1℃ 8、真空度：10E-3torr 9、内部腔体尺寸：372mm×420mm×480mm 10、观察窗口：Ø150mm |
| 产品规格 | 尺寸：600mm×500mm×400mm |