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特点
? 常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的*结合
? 双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到*化的小区域三维测图
? 针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。
? 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察
? 针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（zui大至500μm）及亚纳米级垂直分辨率　（zui小０.１nm ）
? 软件设置恒定微力接触
? 简单的2步关键操作，友好的软件操作界面
应用
三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。
薄膜和厚膜的台阶高度测量
划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量
空间分析和表面纹理表征
平面度和曲率测量
二维薄膜应力测量
微电子表面分析和MEMS表征
表面质量和缺陷检测
环境要求
湿度：10-80%， 相对湿度，无冷凝
温度：65-85 华氏度（△T＜1度/小时）
电源要求：110/240V，50/60 Hz

技术规格
类型 项目 规格
综述 小范围XY扫描头，提供高精确度
XY平台扫描，提供大尺度测量
带亮场和暗场的全时彩色CCD照相机
软件控制触针测量力，范围 0.1-100mg
触针针尖半径选件 2μm，5 μm，12.5 μm和25 μm，0.1-0.8μm可选
针尖扫描
（Piezo扫描器） 台阶高度重现性 0.8nm
垂直分辨率 0.1nm
测量高度精细范围 5μm
测量高度粗略范围 0.5mm
XY扫描分辨率 0.1μm
XY扫描定位重现性 0.2μm
扫描速度 10-50μm/sec
扫描范围 10-500μm
每次扫描数据点 100-1000数据点
样品台扫描 XY样品区域 100mm X 100mm, 150mm安装间隙
XY平台运动范围 100mm X 100mm（150mm X 150mm）
XY平台定位重现性 5μm，2μm可选
zui大扫描长度 50mm
扫描速度 0.1-5mm/sec
Z平台范围 55mm
zui大样品高度 50mm
手动旋转平台范围 360度
手动倾斜平台范围 ±2度
标准样品 台阶高度标准样品（NIST认证） 100μm
系统 光学照相机视场范围 1.5 X 1.5mm
光学照明 软件控制暗场和亮场
电脑 Pentium IV, USB2.0联接
操作系统 Win XP
系统动力需求 90-240V，350W
空间尺寸 20’’ 宽X 22’’长 X 25’’高