布鲁克光学轮廓仪ContourX-500
产品简介
详细信息
布鲁克光学轮廓仪ContourX-500是世界上全面的快速，非接触式3D表面计量自动化台式系统。该系统集成了布鲁克专有的自动倾斜光学测头，可以*编程并自动测试一定角度范围内的表面特征，并能减少跟踪误差。
满足计量要求，具有高Z轴分辨率和准确性，并在更小的占地面积内提供了布鲁克的白光干涉仪落地式型号所有业界*的优点。
借助其新的USI通用扫描模式，本产品可以轻松地针对各种复杂应用场景定制分析方法。这些场景涵盖了从精密加工表面和半导体工艺制程，到眼科和MEMS器件的R＆D表征。
布鲁克光学轮廓仪ContourX-500
高级自动化功能
专有的自动倾斜测头为生产和监测提供了灵活性。通过将自动倾斜测头与光学装置耦合在显微镜上，布鲁克实现了测试位置不受倾斜角度影响的测量。进一步结合自动样品台和物镜塔台，使得ContourX-500非常适合“按需测量”工业要求，且占用空间小。
先进的台式三维形貌计量设备
与放大倍率无关的Z轴分辨率
自动化功能，包含带编码器的XY轴样品台、自动测头倾斜和自动亮度调整
更紧凑的气动减震台设计
测量与分析功能
易于使用的界面，可快速准确地获得结果
广泛的自动化功能，可量身定制测量和分析程序
*泛的滤镜和分析工具
满足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等标准在内的定制化分析报告