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TESCAN VEGA 第四代钨灯丝扫描电子显微镜，采用全新的 Essence™ 电镜操控软件系统，将扫描形貌图像与元素实时分析集成于同一个扫描窗口中。这种组合大大简化了样品表面形貌的采集及所含元素的数据分析工作，使得全新的第四代 VEGA SEM 成为质量控制、故障分析和研究实验室中常规材料等检测提供更高效的分析的解决方案。

TESCAN VEGA 采用创新的电子光学设计，确保在需要时即时、无缝地选择成像或分析条件，无需对任何电子光学镜筒内的元件进行机械对中。可以配置真空缓冲节能单元，使用后可显著缩短机械泵的运行时间，从而达到节能、环保的要求。

TESCAN VEGA 钨灯丝扫描电镜

主要特点:

• *集成的 TESCAN Essence™ EDS 分析平台，在 Essence™ 电镜操控软件的单一窗口中即可实现 SEM 成像和元素成分分析。

• TESCAN 采用*的无机械光阑设计，采用实时电子束追踪（In Flight Beam Tracing™）的技术，可帮助用户快速获得电镜合适的成像及分析条件。

• *的大视野光路（Wide Field Optics™）设计，低至2倍的放大倍数，无需额外的光学导航摄像头即可轻松、精确地实现 SEM 导航。

• 直观、模块化的 Essence™ 软件设计，不同经验等级的用户均可轻松操作。

• 在样品台及装置的样品运动过程中，Essence™ 3D 防碰撞模块可以直观的显示安装样品室内的探测器及样品台的位置信息，提供安全性的保护。

• SingleVac™ 模式作为标准配置，为观测不导电样品和电子束敏感的样品提供便利的分析利器。

• 可选配的真空缓冲节能单元可显著缩短机械泵的运行时间，提供环保、高经济效益的电子显微镜。

• 模块化分析平台，可选配集成最多种类的探测器和附件（如阴极荧光探测器，水冷背散射电子探测器或拉曼光谱仪等）。

TESCAN VEGA 钨灯丝扫描电镜

大视野设计，实现低倍精确导航

利用大视野光路(Wide Field Optics™)技术，用户可通过扫描窗口实时观察样品，直接实现感兴趣位置的精确导航。大视野光路技术取代了传统的CCD导航相机，提供大景深，同时也提供样品实际形貌的图像，实现更直观、先进的样品导航过程。在 SEM 观测窗口中，最小2倍的放大倍率保证了大视野无畸变的图像实时观测，可连续放大感兴趣的区域，无需光学导航相机。实时的SEM窗口同样可与预倾斜样品台（如 EBSD 预倾台）配合使用，对于需要倾斜分析的样品，支持扫描倾斜校正，从而实现更精确的导航。

自动操作

通过一次点击就可以进行自动灯丝加热和电子枪对中。众多的自动程序减少了用户的操作时间，并提供了操作的自动导航与自动化分析。通过内置脚本语言（Python）用户可以进入软件大多数功能，包括电镜控制、样品台导航、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户也可以自定义软件的自动操作。

全新的 Essence^TM 电镜控制软件

• 用户界面有各种语言版本。

• 集成的  Essence™ EDS 能谱软件，轻松快捷地实现从成像切换到元素分析，通过软件一键即可实现所有设置参数的更改。
  

• 具备快速搜索功能、命令撤消及参数预设等多种功能，帮助用户高效、快捷地完成分析工作。

• 允许用户设定符合其自身体验水平或特定应用的工作流程。

• Essence™ 防碰撞模型软件能够直观的模拟出样品室内情况，有效避免碰撞的发生。
  

• 内置的自动系统检查。

• 通过局域网或互联网可实现电镜远程诊断。

• 模块化软件体系结构。

• 标准的软件模块包括了：光电联用、测量工具、图像处理、对象区域等。

• 选配软件包括了：颗粒度分析、三维表面重构等。

软件：

• 测量软件, 公差测量软件
  

• 图像处理

• 预设参数

• 直方图及LUT

• SharkSEM™ 基础版 (远程控制)

• 3D 防碰撞模型软件

• 对象区域

• 光电联用

• 定时关机

• CORAL™（用于生命科学的电镜模块）

• 自动拼图软件

• 样品观察

• TESCAN Flow™ (离线处理软件)

根据实际配置和需求

探测器和附件：

• 皮安计，包含防碰撞报警功能

• 样品室内 Everhart-Thornley 式二次电子探测器 (SE)

• 用于观察样品室内部情况的红外摄像机

• 可伸缩-闪烁体式背散射电子探测器

• 阴极荧光探测器

• 共聚焦拉曼光谱
  

• 其它各种附件可供选择