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电子清洁管控系统  电子级洁净度管控台

电子级清洁管控系统可以对各类液体的颗粒度、清洁度、污染物进行管理、控制、监测和分析；设备及零部件冲洗颗粒污染物的管控及测试，纯净溶液和电子级用水中不溶性微粒的管控及测试，电子化学品中颗粒物控制及中小试评价。

本方案涵盖控制系统、清洁系统、动力系统和监测系统等单元，利用动力系统单元将所需清洁物质通过清洁系统单元进行循环清洁处理，利用监控系统和控制系统，进行相关的调整并循环自净，最终达到相关标准要求。

本系统采用英国普洛帝“光阻测量颗粒”和“精密微纳米颗粒管控”两项技术，可根据用户的要求，内置用户所需多种管控工艺，实现多粒径大小及数量的管控和检测。

经典第八代新应用软件系统平台，集结初滤、精滤、终滤、清洗、检测、报警、校准和标定各模块可实现方便的全自动化设定和操作，内置判定标准、检测曲线、模块调试和声光报警等。

与业ye内领lin先的智能系统公司合作，选择其优秀的智能监控军jun工级技术型工控机，系统稳定，性能稳卓zhuo越。

具有标准串行RS232口或RS485口、LAN口、USB口等，可外接普洛帝智能工厂等自动化管理系统。

可按英标、美标、日标、中标等标准进行标定、校准。

提供校准物质（GBW），协助客户每年一次的校准计量工作。

提供行业独du有的“OIL17服务星” 签约式服务，365天无忧使用。

电子清洁管控系统  电子级洁净度管控台

执行标准：

GB/T 11446.1-2013 电子级水

GBT 11446.3-2013 电子级水测试方法通则

GB/T 11446.9 电子级水中微粒的仪器测试方法

SJ/T 11638-2016 电子化学品中颗粒的测试方法

GBT 29024.2-2016 粒度分析 单颗粒的光学测量方法 第2部分：液体颗粒计数器光散射法

ISO 21501-2-2007 Determination of particle size distribution - Single particle light interaction methods - Part 2: Light scattering liquid-borne particle counter

ISO 14644-9-2012 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration

ISO 14644-10-2014 Cleanrooms and associated controlled environments. Part 10. Classification of surface cleanliness by chemical concentration

JIS K0554-1995  高纯度水中微粒子浓度的检测方法

JIS B9925-2010 光散乱式液中粒子計数器－校正方法及び検証方法

技术参数：

订制要求：各类液体检测要求；

传 感 器：第八代双激光窄光检测器（精确、稳定、迅速）；

测试软件：CCACS2.0分析测试软件集成版；

控制方式：集成式工控机控制或工业PC 控制；

检测方式：中国国标、电子行业标准、半导体行业标准、日本标准、美国标准、ISO标准；

测试标定：CN-PSL乳胶球计量、CN-ISO标定计量、CN-NIST标定计量；

操作方式：彩色液晶触摸屏或键盘鼠标操作；

管控精度：0.05、0.1、0.2、0.3、0.5、0.7、.08、1μm，2μm，3μm，5μm，10μm；

管控检测：0.05~10μm（根据要求和传感器）；

管控通道：1000 个，可任意4、6、8、16、32、64、128个尺寸范围颗粒计数值；

管控流速：5mL/min～1500mL/min；

流速精度：<±1%；

管控体积：100mL~100L；

测试粘度：离线0~99厘斯；加压可达500厘斯；

流体温度：0℃～80℃；

环境温度：-15℃～50℃；

接口方式：RS232或R485转USB或USB接口 ；可定制尺寸；

模拟输出：4mA～20mA；串口协议；MODBUS协议；

报告方法：颗粒数/ml及等级；

输入电压：100V～265V,50Hz～60Hz；

售后服务：普洛帝中国服务中心/军计测。

鉴定机构：西安中特计量检测研究院