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郑科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸镀仪

KT-Z1650CVD是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽小功能齐全。配备7寸触摸屏人工界面，具有电流时间工艺储存功能。配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及自动电动样品挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金属（金，银，铜，铬，镍等）和有机物进行均匀蒸发沉积。真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

郑科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸镀仪

三：主要技术要求

1．    控制方式：7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

2．    加热方式：数字式功率调整器

3．    镀膜功能：0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

4．    功率：≤1200W

5．    输出电压电流：电压≤12V  电流≤120A

6．    真空度：机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤10^-3Pa

7．    挡板类型：电控

8．    真空腔室：石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm

9．    样品台：可旋转φ62  （可安装φ50基底）

10．  样品台转速：8转/分钟

11．  样品蒸发源调节距离：70-140mm

12．  蒸发温度调节：≤1800℃

13．  支持蒸发坩埚类型： 钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  陶瓷坩埚   石英石坩埚

14．  预留真空接口：KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口  6mm卡套进气口

郑科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸镀仪