HPR-80 活泼性/腐蚀性气体分析仪
产品简介
详细信息
HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪应用：
• 等离子体/反应性离子蚀刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半导体晶片加工研究
• 真空、等离子体过程
• 活性物质定量分析
• HF，HCl，HBr，CFC 研究
HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪特点：
• 加热的电抛光波纹管，快速偶合连结器
• 可清除的，带粘性流QIC校正的进样口用于定量分析
• 高灵敏度至 5 ppb, 质量数为 2500 amu.
• 进样压力从 1 mtorr 至大气压
• 电容压力计，压力检测可不受分析物影响
• 稳定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )
• 软件 MASsoft 控制
• 矩阵反演，归一化及单峰参考