SEM3100 钨灯丝扫描电子显微镜
产品简介
详细信息
钨灯丝扫描电子显微镜
SEM3100
SEM3100具有出色的成像质量和丰富的扩展性,将钨灯丝扫描电子显微镜的可用性、易用性发挥到极大。分辨率可达3 nm,超大样品仓,可容纳最大直径为370mm的样品,以及诸多细节功能设计和特色功能,助您在显微成像的世界中尽情探索。
高性能高指标
SEM3100是一款高性能的扫描电子显微镜,拥有超高的分辨率和出色的成像质量。放大倍率连续可调,在不同的视场范围下均可得到高亮度的清晰图像。大景深,成像富有立体感。配备的超大样品仓和低电压模式,极大地扩展了SEM3100的应用范围。
丰富的扩展性
扫描电子显微镜不只用于表面形貌的观察,还可以进行样品表面的微区成分分析。SEM3100拥有超大的样品仓,接口丰富,除支持常规的二次电子探测器(ETD)、背散射电子探测器(BSED)、能谱仪(EDS)外,也预留了诸多接口,诸如电子背散射衍射(EBSD)、波谱仪(WDS)、阴极荧光(CL)等探测器都可以在SEM3100上进行集成。
背散射探测器
二次电子成像和背散射成像对比。背散射像下,样品的荷电效应明显减弱,并且具有很好的成分衬度,适合进行成分观察。
能谱分析
水泥建筑材料SE和EDS分析结果,加速电压15 kV
*微量Au元素为喷金后的镀层
特色功能,更高的效率和更好的性能
光学导航
SEM3100标配的仓内摄像头可拍摄高清样品台照片,助您快速定位样品。
旋钮控制板和鼠标手势
可通过旋钮控制板或鼠标滚轮/手势快速调节聚焦和像散等参数,极大地提高成像效率。
动态像散
直观反映像散程度,通过鼠标点击即可快速调节像散至最佳。
动态图
结果图
快速调节图像旋转
拖动一条线,图像立刻“摆正角度”。
动态图
结果图
电子光学系统
分辨率 3 nm @ 30 kV
放大倍率 1 x~300,000 x
加速电压 1 kV~30 kV
电子枪类型 预对中型发叉式钨灯丝电子枪
成像系统
探测器(标配) 二次电子探测器 (ETD)
探测器(选配) 背散射电子探测器、能谱仪EDS等
图像尺寸 ≤ 6144 x 4096 像素
图像保存格式 TIFF、JPG、BMP、PNG
样品室
控制方式 全自动阀
涡轮分子泵 240 L/S
机械泵 12 m³/h(50 Hz)
摄像头 光学导航 样品仓内监控
样品室真空度 高真空下优于9 X 10-4 Pa
样品台配置 三轴自动(标配) 五轴自动(选配)