| 主要特征 l 采用L型移动桥式，由两到三个高精度等高块稳固支撑Y向槽型导轨，左立柱与横梁、滑架、鞍座共同组成移动桥，运动部件采用高硬度轻质铝合金材料 l X轴和Z轴均采用精加工及经过硬质阳极化处理的挤压轻质铝合金 l Y轴采用一体化槽型花岗岩导轨 l Z轴采用可调式气动平衡设计，提高了机器的动态性能，提升Z轴安全性 l 各运动轴均采用高性能直流伺服测速机组和单级多楔带减速系统 l 三轴采用预载荷空气轴承，运动更平衡，导轨受磨损 l 采用HEXAGON高分辨率金质光栅，分辨率高达0.039vm l 测量机三轴及工件都配置温度传感器，实时监控温度变化 机器型号 | | Function plus 10158 | Function plus 10218 | Function plus 10308 | Function plus 122110 | Function plus 123010 | Function plus 152110 | Function plus 153010 | Function plus 152112 | Function plus 153012 | 行程（mm） | X | 1000 | 1000 | 1000 | 1200 | 1200 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | Y | 1500 | 2100 | 3000 | 2100 | 3000 | 2100 | 3000 | 2100 | 3000 | Z | 800 | 800 | 800 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | 1200 | 1200 | 测量空间（mm） | Dx | 1364 | 1364 | 1364 | 1564 | 1564 | 1864 | 1864 | 1864 | 1864 | Dz | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | Dz1 | 951 | 951 | 951 | 1151 | 1151 | 1151 | 1151 | 1351 | 1351 | 平台（mm） | Ph | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | Py | 2000 | 2600 | 3500 | 2600 | 3500 | 2600 | 3500 | 2600 | 3500 | 支撑（mm） | Sy1 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | Sy2 | 1200 | 1800 | 2700 | 1800 | 2700 | 1800 | 2700 | 1800 | 2700 | Sx | 1300 | 1300 | 1300 | 1500 | 1500 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | 外形尺寸（mm） | L | 2726 | 3326 | 4226 | 3326 | 4226 | 3326 | 4226 | 3326 | 4226 | W | 1780 | 1780 | 1780 | 1980 | 1980 | 2280 | 2280 | 2280 | 2280 | H | 3422 | 3422 | 3422 | 3622 | 3622 | 3622 | 3622 | 3822 | 3822 | 承重（kg） | | 1300 | 1800 | 2000 | 3000 | 3500 | 3000 | 3500 | 3000 | 3500 | 机器重量（kg） | | 5500 | 6500 | 9500 | 7600 | 11000 | 8600 | 13000 | 8800 | 13200 | MPEe(μm) | | 3.1+L/300 | 3.5+L/300 | 4.0+L/300 | 5.0+L/300 | MPEp(μm) | | 3.3 | 3.7 | 4.2 | 5.2 | 光栅尺分辨率(μm) | | 0.078 | 空间移动速度(mm/s) | | 433 | 空间移动加速度(mm/s2) | | 1039 | 流量/供气压力 | | 2.5dm3/s(150 NImin). >0.7Mpa |
注：工作环境为温度（20±2）℃ 湿度为45%-75% | 
