| 主要特征: 采用L型移动桥式，由两到三个高精度等高块稳固支撑Y向槽型导轨，左立柱与横梁、滑架、鞍座共同组成移动桥，提高了运动质心，减少了阿贝误差
uX轴和Z轴均采用精加工及经过表面硬质阳极化处理的航空铝合金
Y轴采用一体化槽型精密花岗石导轨u
uZ轴采用的可调式气动平衡设计，采用柔性悬挂系统，避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题，提高了测量机的精度和长期稳定性
u各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带，确保运动的平稳和准确定位
三轴均采用预载荷空气轴承，运动更平稳，导轨受磨损u
u三轴均采用高精度欧洲进口光栅尺，系统分辨率可达0.078um；同时采用一端固定，一端自由伸缩的方式安装，减少了光栅尺的变形，保证在温度变化时的线性伸缩
u采用海克斯康为Function Plus打造的IDC-II控制系统，21项误差空间修正技术和自动调谐功能，保证了大型机器的动态性能和测量精度
u测量机三轴都配置温度传感器，实时监控温度变化，自动补偿由于温度变化而引起的误差
软件为业界的PC-DMIS BASIC (/PC-DMISuPREMIUM)，功能强大，易学高效 规格型号与技术指标： | | 800 | 1000 | 机器型号 | | F10128 | F121510 | F122010 | F122510 | F12310 | 行程（mm） | X | 1000 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 | Y | 1200 | 1500 | 2000 | 2500 | 3000 | Z | 800 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | 测量空间（mm） | Dx | 1100 | 1300 | 1300 | 1300 | 1300 | Dy | 1960 | 2340 | 2840 | 3340 | 3840 | Dz | 950 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | Dx1 | 153 | 173 | 173 | 173 | 173 | Dy1 | 250 | 280 | 280 | 280 | 280 | 花岗岩平台螺纹孔尺寸（mm） | M1 | 133 | 156 | 156 | 156 | 156 | M2 | 105 | 120 | 120 | 120 | 120 | Mx | 250 | 300 | 300 | 300 | 300 | My | 250 | 300 | 300 | 300 | 300 | 外形尺寸（mm） | L | 2370 | 2820 | 3320 | 3820 | 4320 | W | 1694 | 1980 | 2100 | 2100 | 2100 | H | 3150 | 3460 | 3750 | 3750 | 3750 | 承重（kg） | | 1200 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 机器重量(kg) | | 4000 | 5300 | 8500 | 10500 | 12500 | MPEe(μm) | | 4.0+L/300 | 5.0*L/300 | 5.0*L/300 | 7.0*L/300 | 7.0*L/300 | MPEp(μm) | | 4.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 光栅尺分辨率（μm） | | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 空间移动速度（mm/s） | | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 | 空间移动加速度（mm/ s2） | | 450 | 450 | 450 | 450 | 450 | 流量/供气压力 | | 150 NI/min0.45Mpa | 150 NI/min0.45Mpa | 150 NI/min0.45Mpa | 150 NI/min0.45Mpa | 150 NI/min0.45Mpa |
注：工作环境为温度（20±2）℃ 湿度为45%-75% | 
