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| | 样品交换时也可保持激光稳定照射悬臂。照射稳定性优异，分析时间也大幅度缩短。 |
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| | 可从不同角度放大拉伸图像进行确认。鼠标操作简单，更可进行3D断面形状分析。 |
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| | 按照操作指南指导操作顺序，使用导航功能直接锁定观察位置，实现了SPM的快速简便的观察 |
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| | 具备丰富的测定模式和优异的扩展性，可对不同硬度、不同导电性能等各式样品进行观察分析。 |
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 控制气氛扫描探针显微镜 WET-SPM
可以控制样品和周边环境，在可控气氛下进行样品处理，并直接进行SPM观察。
选配系统具有温度湿度控制单元、样品加热冷却单元、样品加热单元、吹起单元。 |
| 粒度分析软件
从图像数据中选取复数颗粒，对每一颗粒进行特征量的计算，并进行分析、显示，以及及进行统计处理。
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超微小硬度计复合型SPM系统SPM+TriboScope（TriboScope为美国Hysitron公司产品） 可以进行极薄膜的硬度试验和压痕试验。
微小部热分析试验仪器复合型SPM系统 SPM+nano-TA2（nano-TA2为Anasys Instruments公司产品）可以进行样品表面的三维形貌观察和点的热分析。 |
| 观察模式 | 标准 | 接触模式
动态模式
相位模式
水平力模式（LFM）
力调制模式
矢量扫描模式 | | 选购件 | 磁力（MFM）模式）
电流模式
表面电位（KFM）模式 | | 分辨率 | XY | 0.2 nm | | Z | 0.01 nm | | AFM头部 | 位移监测系统 | 光源/光杠杆/检测器 | | 光源 | 激光二极管（On/Off均可）
更换样品无需调整光路 | | 检测器 | 光敏二极管 | | 扫描器 | 驱动元件 | 管状压电元件 | 扫描范围
（X*Y*Z） | 30μm×30μm×5μm （标准）
125μm×125μm×7μm （选购）
55μm×55μm×13μm （选购）
2.5μm×2.5μm×0.3μm （选购） | | 样品台 | 样品形状 | φ24mm×8mm | | 样品装载方式 | 头部滑动机构
悬臂安装状态下可直接装载样品 | | 样品固定方式 | 磁性固定 | | Z轴驱动机构 | 驱近方式 | 全自动驱近 | | 可驱近范围 | 10mm | | 信号显示板 | 显示量 | 检测器的总入射光量（数字显示） | | 减震机构 | 减震台 | SPM单元内置 | | 光学显微镜观察 | 方式 | 分束器滑动机构 | | 专用风挡 | 方式 | 无需或者使用气氛控制腔体 | | 气氛控制 | 方式 | 无需改造SPM单元可直接导入气氛腔体 |
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