Transpector® MPH 残余气体分析仪
产品简介
详细信息
解放您的过程
的性能提高良率并使正常运行时间
持续上升的硅晶圆价格以及对成品的需求意味着废弃晶圆需要付出较高的代价。因此，在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。Transpector MPH 气体分析系统专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内的性能，有助于最大限度地提高芯片产量，降低工具停工时间。Transpector MPH 兼具总拥有成本低和平均故障间隔时间长的优点，在帮助您赢利方面的作用优于市面上的任何其他残余气体分析仪 (RGA)。
INFICON 利用在气体分析过程控制设备领域的专长制造的 RGA 具有行业先的数据采集速度，可检分压强和信噪比低。所有这些特性都不会牺牲 INFICON Transpector 气体分析仪一贯出色的可靠性。
功能
- 最大模拟扫描和选定峰值的数据速率为每点 1.8 ms
- TCP/IP 以太网连接
- 双丝极
- 可现场更换电子倍增器
- 组合阳极、阴极和反射极丝极套件
- 较短的传感器可降低安装占地面积
- 九个数量级的动态量程
- <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu）
- 信噪比更高
- 可调换传感器和电子元件
- 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
- 符合 RoHS 标准
| Type | MPH100F | MPH100M | MPH200F | MPH200M | MPH300F | MPH300M | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 传感器长度 | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | |
| 质量范围 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | 300 amu | 300 amu | |
| 检测器类型 | FC | FC/EM | FC | FC/EM | FC | FC/EM | |
| 灵敏度 (FC) | 6E-4 A/Torr | 6E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | |
| 灵敏度 (EM) | NA | 500 A/Torr | NA | 500 A/Torr | NA | 250 A/Torr | |
| Z小可检测分压 (4) | 3E-13 Torr | 2E-15 Torr | 4E-13 Torr | 3E-15 Torr | 5E-13 Torr | 4E-15 Torr | |
| Z高传感器工作温度(FC) | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | |
| Z高传感器工作温度(EM) | NA | 150°C | NA | 150°C | NA | 150°C | |
| 丝极类型选件 (1) | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | |
| 丝极类型选件 (2) | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | |
| 分辨率（整个质量范围内） | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | |
| 温度系数 | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | |
| 高每点数据率 | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | |
| 零冲击（@ 质量 2） | <5 ppm | <5 ppm | <65 ppm | <65 ppm | <100 ppm | <100 ppm | |
| Z大工作压力 | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | |
| Z高烘烤温度 | 300 | 300 | 300 | 300 | 300 | 300 | |
| 功率输入 | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC |
(1) 用于一般应用
(2) 用于卤素环境应用
(3) 在峰高的 10％ 处
(4) 4 秒的停留时间