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描述

108carbon SE镀碳仪基于108c镀碳仪。它包含108c的所有优点，但有更大的Ø150x165mm样品室，可以放置更大或更多的样品。108C Auto/SE是用于扫描电镜能谱分析的的镀碳仪之一。

主要特性

• *的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约20nm左右进行多次蒸发，无须切削或调整碳棒形状。
• 108C Auto/SE中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑，容易操作，抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。
• 使用新型的蒸发装置：电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低，碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。
• 可选择手动或自动方式操作。
• 自动模式下，蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下，*的设计允许以脉冲或连续的方式操作，并通过旋钮控制输出电压。
• 可配备MTM-10高分辨膜厚监控仪（选件）。分辨率优于0.1nm。在15nm至25nm的碳膜厚度范围内，重现性可优于5％。