108auto SE离子溅射仪
产品简介
详细信息
描述
Cressington 108auto SE离子溅射仪基于108auto 离子溅射仪。它具有108auto的所有优点，但具有更大的Ø150x165mm玻璃腔和目标前方的额外挡板。此外，108auto / SE可配备可选的旋转倾斜（RT）样品台或可选的旋转 – 行星 – 倾斜（RPT）样品台。
108 Auto SE是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性
一、自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和的导电喷镀效果。
二、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
三、操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
四、在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，
五、通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程。
六、可用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）手动停止喷镀过程。
七、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和的镀膜效果。
八、可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。
技术参数
溅射系统 | |
样品室大小 | 直径150mm x 165mm 高 (4.75 x 4.75″) 高度可变165mm-250mm |
靶材 | Au 靶为标配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （选件）;大小：直径57mm x 0.1mm厚 |
样品台 | 可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为60mm |
溅射控制 | 微处理器控制，安全互锁，可调，电流40mA，程序化数字控制 |
溅射头 | 低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩 |
模拟计量 | 真空： Atm – 0.001mbar，电流：0-50mA |
厚度监控 (选件) | 使用MTM-20高分辨厚度控制仪（选件）自动终止溅射过程，或使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）手动终止溅射过程 |
控制方法 | 自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s），自动放气 |
真空系统 | |
真空泵 | 2级直连式高速真空泵 |
抽气速率 | 3.0 m3/小时 ，真空度到 0.1mb所需时间30秒 |
桌上系统 | 真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统 |
可选附件：
一、膜厚测控仪
膜厚控制仪MTM-20 | |
性能 | 基于微处理器，4位数字显示，复位按钮， 6MHz晶体（具有寿命检查功能），5次/s的更新速率 |
膜厚范围 | 0.0 – 999.9nm |
分辨率 | 优于 0.1nm |
密度范围 | 0.50 – 30.00gm/cm3 |
修正系数范围 | 0.25 – 8.00 |
镀膜终止范围 | 膜厚0 – 999.9nm |
二、R-P-T（Rotary-Planetary-Tilting）样品台
样品台可旋转，可倾斜，适合多角度样品。
108auto离子溅射仪配置旋转样品台的使用视频