ETD-200 金离子溅射仪(小型)
产品简介
详细信息
金离子溅射仪ETD-200小型 特点:
靶（上部电极）：材料：金，
直径：64mm，厚度：0.12mm(大约)
真空室：直径：160mm，高：120mm
样品台（下部电极）：溅射面积：直径：64mm，zui大放置样品数量：16个
离子电流表：zui大电流：100mA
定时器：zui长时间：900S
zui高电压： -1600V
电源开关
机械泵: 2升/每秒
可选：真空控制针阀
靶材可按用户要求加工制作
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