SPT-20 SPT-20小型离子溅射仪
产品简介
详细信息
SPT-20小型离子溅射仪，预设八种靶材的溅射参数，可用于扫描电镜制样，也可用于其他小型镀膜实验。采用微处理器进行全自动控制，LCD液晶屏显示，设置简单，一键操作，没有任何使用经验的用户，都可以独立操作。具有稳定的离子流，可以产生均匀的颗粒尺寸和均匀的镀膜厚度。
性能指标
快速抽真空，小于3分钟
预设的快速操作，一键操作
条件设置简单，
自动真空控制
完成镀膜，自动卸载真空，
样品高度调节方便，
靶的尺寸：直径50.8mm（Au/Pt/Ag...... 八种靶材）
电源：220V,60Hz/50Hz ,300W
离子流控制范围：1-9mA
电离电压：~3KV
溅射时间：10-300秒
外形尺寸：420（W） x 220（D） x 230（H） mm
样品室内径：100mm
旋片式机械真空泵：24L/min