wi97971 3靶等离子溅射仪
产品简介
产品货号： wi97971
产 地： 国产
详细信息
产品简介 3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪，控制面板采用触摸屏模式，基片zui大尺寸2″，放置样品的直径为Φ50mm，加热温度达500℃。本机可溅射金、铝、铜三种靶材，并采用旋转式样品台，能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜。 主要特点 1、PLC控制面板，PID控温方式。 2、可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片、加热温度。 3、已通过CE认证。 技术参数 1、输入功率：110V/220V通用 1200W（含真空泵） 2、输出功率：1600VDC 50mA（zui大电流） 3、石英罩：Φ160mm×1200mm 4、样品台：Φ50mm 5、加热温度：500℃， 6、控温精度：±1℃ 7、靶材尺寸：Φ47mm×0.12mm 产品规格 尺寸：360mm×350mm×3600mm；重量：50kg 标准配件 金、银、铜靶材各1块 可选配件 1、KF25真空接口、卡箍 2、不锈钢波纹管（600mm） 3、旋片式真空泵（120L/M） 4、铂、银、锌等靶材