NS3500 Solar 半导体晶圆质量检测系统
产品简介
详细信息
NS3500 Solar 半导体晶圆质量检测系统
NS-3500 Solar 是一种可靠的半导体晶圆检测系统。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构，可以为半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等提供各种解决方案。
Features & Benefits（性能及优势）：
高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿
实时共焦成像 简单的数据分析模式
多种光学变焦 双Z扫描
大范围拼接 半透明基材的特征检测
实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备
自动聚焦
Application field（应用领域）：
NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。
可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如
-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺
- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度
- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形
-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案
-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析
Specifications(规格）:
Model | Microscope NS-3500 Solar | 备注 | ||||
物镜倍率 | 10x | 20x | 50x | 100x | ||
观察/ 测量范围 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 | |
垂直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | ||
工作范围: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | ||
数值孔径(N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | ||
光学变焦 | x1 to x6 | |||||
总放大倍率 | 178x to 26700x | |||||
观察/测量光学系统 | Pinhole共聚焦光学系统 | |||||
高度测量 | 测量扫描范围 | 400 um | 注 1 | |||
显示分辨率 | 0.001 μm | |||||
重复率 σ | 0.010 μm | 注 2 | ||||
帧记忆 | 像素 | 1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 | ||||
单色图像 | 12 bit | |||||
彩色图像 | 8-bit for RGB each | |||||
高度测量 | 16 bit | |||||
帧速率 | 表面扫描 | 20 Hz to 160 Hz | ||||
线扫描 | ~8 kHz | |||||
激光共焦测量光源 | 波长 | 405nm | ||||
输出 | ~2mW | |||||
激光等级 | Class 3b | |||||
激光接收元件 | PMT (光电倍增管) | |||||
光学观察光源 | 灯 | 10W LED | ||||
光学观察照相机 | 成像元件 | 1/2” 彩色图像 CCD 传感器 | ||||
记录分辨率 | 640x480 | |||||
自动调整 | 增益, 快门速度, White balance | |||||
数据处理单元 | PC | |||||
电源 | 电源电压 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | ||||
电流消耗 | 500 VA max. | |||||
重量 | 显微镜 | Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~12 kg) | ||||
控制器 | ~8 kg | |||||
隔振系统 | 气浮光学平台隔振系统 | Option | ||||
注1:精细扫描由压电执行器（PZT）执行。
注2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（步长1μm）进行100次测量。