1、输入电源:110/220,50/60Hz,小于1000W; 2、输出频率:20-23KHz; 3、离子束头:包括2个离子束头,圆头10-12mm,矩形头15-18mm; 4、输入气体压力和工作气氛:zui小0.275兆帕,工作气氛可以是空气、氮气、氩气、混合气体(不要使用易燃易爆气体); 5、等离子工作压力:0.048兆帕-0.068兆帕; 6、工作环境:温度< 42°C;湿度≤ 40%RH;没有易燃气体; 7、自动控制三维工作台(X/Y轴电动调节,Z轴手动调节); 8、工作台尺寸:Ø100mm真空吸盘; 9、工作台X轴行程200mm,Y轴行程100mm; 10、喷嘴可调高度50mm。 |