日本ygkcop晶圆表面检测仪YPI-N系列
产品简介
YPI-N系列（自动运输）
晶圆表面检测设备[YPI-N系列（自动转移）]
○○○○○○○○图片高速扫描镜面基板（硅晶片等）表面上的异物。
从小型基板（2英寸，3英寸）到8英寸晶圆，可以执行多种测量。
详细信息
日本ygkcop晶圆表面检测仪YPI-N系列
日本ygkcop晶圆表面检测仪YPI-N系列
日本ygkcop晶圆表面检测仪YPI-N系列
YPI-MX系列（手动）玻璃基板/蓝宝石表面检查设备
- YPI-MX-XY /YPI-MX-Θ
玻璃基板表面检查装置/蓝宝石表面检查装置YPI-MX系列（手动）
用于透明透明玻璃基板的机器，还支持各种背面缎面基板。
传感器自动对焦机制可实现高度精确的前后分离。
设备规格
- 对应板子尺寸
- 大200mm x 200mm
（如果需要200mm以上，请与我们联系） - 扫描方式
- XY扫描/Θ-X扫描（螺旋扫描）
- 吞吐率
- □200mm约4分钟/Φ200mm约3分钟（可进行高速扫描）
- 工作安装
- 转移机械手（背面吸力/边缘夹具）
- 设备外形尺寸
- 宽1,320毫米x深1,000毫米x高1,700毫米
- 体重
- 约800公斤
- 能量消耗
- 约1.5kW（100V）
- 待检查的基材
- 硅片，各种薄膜的硅片
- 低检测灵敏度
- Si晶片为0.1μm