仪器网

YPI-MX-XY /YPI-MX-Θ
玻璃基板表面检查装置/蓝宝石表面检查装置YPI-MX系列（手动）
用于透明透明玻璃基板的机器，还支持各种背面缎面基板。
传感器自动对焦机制可实现高度精确的前后分离。

设备规格

对应板子尺寸

大200mm x 200mm 
（如果需要200mm以上）

扫描方式

XY扫描/Θ-X扫描（螺旋扫描）

吞吐率

 

□200mm（XY）约4分钟
Φ200mm（Θ）2分钟以内
Φ150mm（Θ）1.5分钟以内
Φ100mm（Θ）1分钟以内

工作安装

手动的

设备外形尺寸

宽900毫米x深1,000毫米x高1,757毫米

体重

约800公斤

能量消耗

约2.0kW（100V）

待检查的基材

硅晶片，透明玻璃基板，蓝宝石基板，LT晶片，SiC等

低检测灵敏度

透明玻璃基板0.2μm
硅晶圆0.1μm