YPI-MX系列 日本ygkcop玻璃基板/蓝宝石表面检查仪
产品简介
YPI-MX系列（自动转移）玻璃基板/蓝宝石表面检查装置
YPI-MX-XYA /YPI-MX-ΘA
玻璃基板表面检查装置/蓝宝石表面检查装置YPI-MX系列（自动转移）
于透明玻璃基板的机器，也支持各种背面缎面基板。
传感器自动对焦机制可实现高度精确的前后分离。
详细信息
日本ygkcop玻璃基板/蓝宝石表面检查仪
日本ygkcop玻璃基板/蓝宝石表面检查仪
日本ygkcop玻璃基板/蓝宝石表面检查仪
YPI-MX-ΘDC
YPI-MN
晶圆
DF / WF-1
YPI-MX系列（自动转移）玻璃基板/蓝宝石表面检查装置
- YPI-MX-XYA /YPI-MX-ΘA
玻璃基板表面检查装置/蓝宝石表面检查装置YPI-MX系列（自动转移）
于透明玻璃基板的机器，也支持各种背面缎面基板。
传感器自动对焦机制可实现高度精确的前后分离。
设备规格
- 对应板子尺寸
- 大200mm x 200mm
（如果需要200mm以上，请与我们联系） - 扫描方式
- XY扫描/Θ-X扫描（螺旋扫描）
- 吞吐率
- □200mm（XY）约4分钟
Φ200mm（Θ）2分钟以内
Φ150mm（Θ）1.5分钟以内
Φ100mm（Θ）1分钟以内 - 工作安装
- 转移机械手（背面吸力/边缘夹具）
- 设备外形尺寸
- 宽1,530毫米x深1,300毫米x高1,903毫米
- 体重
- 约1,000kg
- 能量消耗
- 约2.0kW（100V）
- 待检查的基材
- 硅晶片，透明玻璃基板，蓝宝石基板，LT晶片，SiC等
- 低检测灵敏度
- 透明玻璃基板0.2μm
硅晶圆0.1μm