日本ygkcop光学视觉检查仪DF / WF-100
产品简介
DF / WF-100
紧凑，高性能的光学视觉检查设备[DF / WF-100]
○○○○○○○○图片自动化显微镜外观检查的理想选择。
高速检查晶圆/基板缺陷和异物。
详细信息
日本ygkcop光学视觉检查仪[DF / WF-100]
日本ygkcop光学视觉检查仪[DF / WF-100]
日本ygkcop光学视觉检查仪[DF / WF-100]
YPI-MX-ΘDC
YPI-MN
晶圆
DF / WF-100高性能站立式光学外部皮肤测量设备
- 自动化显微镜外观检查的理想选择。
高速检查晶圆/基板缺陷和异物。
- 由于可以一次检查两个表面，因此在透明基板的情况下，可以同时检查正面和背面以及正面和内部，并且可以分离检查结果。
设备规格
- 对应板子尺寸
- 大200毫米x 200毫米
- 吞吐率
- 约1分30秒□100 mm（检测到3μm）
- 工作安装
- 手动真空吸附
- 设备外形尺寸
- 宽800毫米x深800毫米x高1,710毫米
- 分辨率
- 0.87微米
- 待检查的基材
- 晶圆，玻璃和各种基材。非图案或相同图案
（网格，针孔） - 审查功能
- 是的