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特征

• 热物理特性显微镜是一种测量热效率的设备，热效率是热物理特性值之一。
• 它是一种可以通过点，线和表面来测量样品的热性能的设备。
• 还可以测量微米级的热物理性质分布，这是常规热物理性质测量装置所难以做到的。
• 它是世界上可对热物理性质进行非接触式和高分辨率测量的设备。
• 3μm的检测光斑直径可实现微小区域的高分辨率热物理性质测量（点/线/表面测量）。
• 由于可以通过改变深度范围进行测量，因此可以测量从薄膜/多层膜到块状材料。
• 您也可以在板上测量样品。
• 激光非接触式测量。
• 可以检测薄膜下的裂缝，空隙和剥离。