STM-2XM 双通道速率/厚度监测仪
产品简介
详细信息
功能
- 两条测量通道
- 用于速率、速率偏差或厚度的四个模拟输出
- 八个可编程的数字输入
- 八个可编程的数字输出
- 每秒 10 个读数时的高精度
- 显示质量或厚度
- 共沉积监测功能
典型应用
- 单/双传感器监测
- 共沉积监测
规格
| 类型 | STM-2XM | |
|---|---|---|
| 兼容传感器 | Single/shuttered single or dual QCM sensor | |
| 传感器输入 | Two | |
| 测量频率范围 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | |
| 频率分辨率 | ±0.03 MHz at 6 MHz | |
| 参考频率稳定性 | ±2 ppm | |
| 厚度和速率分辨率/测量 | ±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz | |
| 测量间隔 | 0.10 s | |
| 存储薄膜 | 15 | |
| 显示模式 | Thickness/Mass | |
| 数字输入 | Eight | |
| 数字输出 | Eight | |
| 模拟输出 | Four | |
| 模拟输出额定参数 | 0 to +/-10 V, 10 mA | |
| 继电器额定参数 | Up to 48 V (dc) • V (ac), 2A | |
| 电源要求 | 120/240, 50/60 Hz, 2.5 VA | |
零件号
| STM-2XM | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| STM-2XM-G1 | STM-2XM 监测仪，美式电源线 |
| STM-2XM-G2 | STM-2XM 监测仪，欧式电源线 |
附件
| 名称 | 说明 |
|---|---|
| Easy Rate Single Sensor | |
| 前装式单传感器 | |
| 前装式双传感器 | |
| 炫酷抽屉单传感器 | |
| 炫酷抽屉双传感器 | |
| 薄型双传感器 | |
| UHV 可烘烤传感器 | |
| ALD 传感器 | |
| 溅射传感器 |
| 零件号 | 明细 |
|---|---|
| 783-014-008 | 机架安装套件 - 在一个 48.3 厘米（19 英寸）机架中安装一个 STM-2XM 仪器 |
| 783-014-009 | 双机架安装套件 - 在一个 48.3 厘米（19 英寸）机架中安装两个 STM-2XM 仪器 |
| Oscillator kits | （包括振荡器和电缆） |
| 783-500-109-10 | 3 米（10 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 3 米（10 英尺）BNC 电缆 |
| 783-500-109-25 | 7.6 米（25 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 7.6 米（25 英尺）BNC 电缆 |
| 783-500-109-50 | 15.2 米（50 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 15.2 米（50 英尺）BNC 电缆 |
| 783-500-109-75 | 22.8 米（75 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 22.8 米（75 英尺）BNC 电缆 |
| Oscillator Only | （未随附电缆） |
| 783-500-013 | 仅 OSC-100 振荡器（无电缆） |
| Cables | |
| 782-902-011 | 15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆，公型/母型 |
| 782-902-012-10 | 3 米（10 英尺）BNC 电缆，公型/公型 |
| 782-902-012-25 | 7.6 米（25 英尺）BNC 电缆，公型/公型 |
| 782-902-012-50 | 15.2 米（50 英尺）BNC 电缆，公型/公型 |
| 782-902-012-75 | 22.8 米（75 英尺）BNC 电缆，公型/公型 |
耗材
| 名称 | 说明 |
|---|---|
| 石英监控器晶体 |
手册
手册
目录
其他文件