STM-2 USB 薄膜速率/厚度监测仪
产品简介
详细信息
功能
- 低成本仪器
- USB 连接
- 内部振荡器
- 每秒 10 次测量时的高精度
- 兼容外部振荡器
- 附带软件
规格
| 类型 | STM-2 | |
|---|---|---|
| 传感器输入 | One | |
| 兼容传感器 | Non-shuttered single QCM sensor | |
| 传感器输入 | Female BNC | |
| 测量频率范围 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | |
| 频率分辨率 | ±0.03 Hz at 6 MHz | |
| 测量间隔 | 0.10 s | |
| 参考频率稳定性 | ±2 ppm | |
| 厚度和速率分辨率/测量 | ±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz | |
| 厚度显示分辨率 | 1 Å (display on software only) | |
| 接口 | USB v1.1 or later capable of providing 400 mA, 5 V (dc) | |
| 尺寸 | 11.4 x 7.5 x 2.5 cm (4.5 x 3 x 1 in.) | |
| 重量 | 57 g (2 oz.) | |
| 计算机要求 | Any PC running Windows 2000, XP, Vista, 7, or 8 with one available USB 1.1 (or later) port for each STM-2 | |
零件号
| STM-2 | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| STM-2 | STM-2 USB 薄膜速率/厚度监测仪 |
附件
| 名称 | 说明 |
|---|---|
| 前装式单传感器 | |
| 炫酷抽屉单传感器 | |
| UHV 可烘烤传感器 | |
| ALD 传感器 | |
| 溅射传感器 | |
| Easy Rate Single Sensor |
耗材
| 名称 | 说明 |
|---|---|
| 石英监控器晶体 |
手册
手册
目录
其他文件