SQM-160 薄膜沉积监控器
产品简介
详细信息
- 概述
- 规格
- 零件号
- 附件
- 耗材
- 下载
功能
- 两个标准测量通道，另外四个可选
- 模拟输出便于记录速率/厚度
- 高分辨率选件：0.03 Hz，10 读数/秒
- RS-232 标准接口，可选择连接 USB 或以太网
规格
| 类型 | SQM-160 Standard Resolution | SQM-160 High Resolution | |
|---|---|---|---|
| QCM 传感器输入 | Standard: 2; optional: 4 | Standard: 2; optional: 4 | |
| 测量频率范围 | Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum | Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum | |
| 频率分辨率 (1) | ± 0.30 Hz | ± 0.03 Hz | |
| 厚度和速率分辨率/测量 (2) | ± 0.37 Å | ± 0.037 Å | |
| 测量周期 | 0.10 to 2.0 s (adjustable) | 0.10 to 2.0 s (adjustable) | |
| 测量过滤器 | 1 to 20 readings | 1 to 20 readings | |
| 存储薄膜 | 99 | 99 | |
| 模拟输出 | Two 0 to 5 VDC, rate & thickness | Two 0 to 5 VDC, rate & thickness | |
| 数字输入/输出 | Four inputs, four relay outputs | Four inputs, four relay outputs | |
| 通信接口 | Standard: RS-232; Optional: USB or Ethernet | Standard: RS-232; Optional: USB or Ethernet | |
| 功率 | 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W | 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W | |
| CE 合规性 | Class 1 equipment, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD | Class 1 equipment, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD | |
| 壳体/安装 | 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4") | 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4") | |
| 重量 | 2.7 Kg (6 lbs) | 2.7 Kg (6 lbs) | |
| Windows 软件（集成） | Provides remote setup and operation, datalogging functions - see sample screenshot at right. | Provides remote setup and operation, datalogging functions - see sample screenshot at right. | |
(1) 0.10 秒测量间隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6 赫兹，0.10 秒测量间隔
(2) 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6 赫兹，0.10 秒测量间隔
附件
| 名称 | 说明 |
|---|---|
| 前装式单传感器 | 前装式单传感器 |
| 前装式双传感器 | 前装式双传感器 |
| 炫酷抽屉单传感器 | 炫酷抽屉单传感器 |
| 炫酷抽屉双传感器 | 炫酷抽屉双传感器 |
| 薄型双传感器 | 薄型双传感器 |
| UHV 可烘烤传感器 | UHV 可烘烤传感器 |
| 溅射传感器 | 溅射传感器 |
| Easy Rate Single Sensor | Easy Rate Single Sensor |
| 零件号 | 明细 |
|---|---|
| 782-900-008 | 用于一台 SQM-160 或 CI-100 仪器的 19 in. 机架安装套件 |
| 782-900-014 | 用于两台 SQM-160 或 CI-100 仪器的 19 in. 机架安装套件 |
| 782-502-096-G1 | USB 扩展卡 |
| 782-502-097-G1 | 以太网扩展卡 |
| Oscillator kits | （包括振荡器和电缆） |
| 783-500-109-10 | 3 米（10 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 3 米（10 英尺）BNC 电缆 |
| 783-500-109-25 | 7.6 米（25 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 7.6 米（25 英尺）BNC 电缆 |
| 783-500-109-50 | 15.2 米（50 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 15.2 米（50 英尺）BNC 电缆 |
| 783-500-109-75 | 22.8 米（75 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 22.8 米（75 英尺）BNC 电缆 |
| Oscillator Only | （未随附电缆） |
| 783-500-013 | 仅 OSC-100 振荡器（无电缆） |
| Cables | |
| 782-902-011 | 15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆，公型/母型 |
| 782-902-012-10 | 3 米（10 英尺）BNC 电缆，公型/公型 |
| 782-902-012-25 | 7.6 米（25 英尺）BNC 电缆，公型/公型 |
| 782-902-012-50 | 15.2 米（50 英尺）BNC 电缆，公型/公型 |
| 782-902-012-75 | 22.8 米（75 英尺）BNC 电缆，公型/公型 |
耗材
| 名称 | 说明 |
|---|---|
| 石英监控器晶体 | 石英监控器晶体 |
手册
- SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
手册
- SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor Operating Manual (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
- SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor Operating Manual (Chinese) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
- SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor Operating Manual (Japanese) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
目录
- Thin Film Catalog (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
- 薄膜目录 |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
其他文件
- SQM-160 Comm Software V1.14 (Windows) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
- SQM-160 V2 Software v2.9.0 (Windows) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
- USB Installer v1.8.0 |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
- SQM-160 LabVIEW™ example |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|