SQC-310 薄膜沉积控制器
产品简介
详细信息
功能
- 明亮的彩色 LCD 显示屏 - 提供英文或中文版本
- 标准 RS-232 和 USB（可选 RS-232 和以太网）
- 设有 “Quick Setup”（快速设定）菜单、6 个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮，易于设定和操作
- 用于开发、测试和下载过程的 Windows®程序，以及用于将仪器数据记录到 PC 进行过程分析与质量控制的 Windows 程序
- 精确的过程控制，尤其适用于低沉积速率，测量速率为每秒 10 个读数，测量分辨率为 ±0.03 Hz
- 存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料
- 使用单传感器或多传感器监控源材料，提供精确的源分布监控
规格
| 类型 | SQC-310 | SQC-310C | |
|---|---|---|---|
| 测量 | |||
| QCM 输入 | 2 (4 optional) | 4 | |
| 测量频率范围 | Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum | Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum | |
| 频率分辨率 (1) | ± 0.012 Hz | ± 0.012 Hz | |
| 厚度和速率分辨率/测量 (2) | ±0.015 Å | ±0.015 Å | |
| 频率稳定性 | ± 2 ppm total, 0 to 50C | ± 2 ppm total, 0 to 50C | |
| 测量周期 | 0.10 to 1.0 s (adjustable) | 0.10 to 1.0 s (adjustable) | |
| 速率显示 | 0.01 Å/sec | 0.01 Å/sec | |
| 控制 | |||
| 存储 | 100 processes, 1000 layers, 50 films | 100 processes, 1000 layers, 50 films | |
| 控制输出 | 2 (4 optional) | 4 | |
| 输出信号 | ± 0 to 10 VDC, 15 bits | ± 0 to 10 VDC, 15 bits | |
| 数字输入/继电器 | 8/8 (16/16 optional) | 16/16 | |
| 数字输入 | 5 VDC non-isolated | 5 VDC non-isolated | |
| 继电器 | SPST Form 1A, 30V, 2A max | SPST Form 1A, 30V, 2A max | |
| 接口 | Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) | Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) | |
| 远程电源控制 | Optional (IPN 782-900-017) | Optional (IPN 782-900-017) | |
| 显示器 | |||
| 类型 | 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD | 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD | |
| 图表 | Rate, deviation, power or full screen numeric | Rate, deviation, power or full screen numeric | |
| 一般 | |||
| 功率 | 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W | 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W | |
| 合规性 | CE, RoHS | CE, RoHS | |
| Windows® 软件 | Included | Included | |
| 壳体/安装 | 5 1/4” half-rack | 5 1/4” half-rack | |
(1) 0.25 秒测量间隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6 赫兹，0.25 秒测量间隔
(2) 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6 赫兹，0.25 秒测量间隔
附件
| 名称 | 说明 |
|---|---|
| 前装式单传感器 | |
| 前装式双传感器 | |
| 炫酷抽屉单传感器 | |
| 炫酷抽屉双传感器 | |
| 薄型双传感器 | |
| UHV 可烘烤传感器 | |
| 溅射传感器 | |
| CrystalSix® 传感器 | |
| Crystal 12® 传感器 | |
| Easy Rate Single Sensor | |
| RSH-600 旋转式传感器 |
| 零件号 | 明细 |
|---|---|
| 782-900-017 | 手持功率控制装置，10 ft. (3 m) 卷线 |
| 782-900-007 | 全高机箱扩展器 – 将一台 SQC-310 或 Composer Elite 安装到 19 in. 机架（包括封板） |
| 782-900-016 | 机架适配器 – 将两台 SQC-310 仪器安装到 19 in. 机架 |
| 782-502-097-G1 | 以太网扩展卡 |
| 782-502-096-G2 | USB 扩展卡 |
| Oscillator kits | （包括振荡器和电缆） |
| 783-500-109-10 | 3 米（10 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 3 米（10 英尺）BNC 电缆 |
| 783-500-109-25 | 7.6 米（25 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 7.6 米（25 英尺）BNC 电缆 |
| 783-500-109-50 | 15.2 米（50 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 15.2 米（50 英尺）BNC 电缆 |
| 783-500-109-75 | 22.8 米（75 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 22.8 米（75 英尺）BNC 电缆 |
| Oscillator Only | （未随附电缆） |
| 783-500-013 | 仅 OSC-100 振荡器（无电缆） |
| Cables | |
| 782-902-011 | 15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆，公型/母型 |
| 782-902-012-10 | 3 米（10 英尺）BNC 电缆，公型/公型 |
| 782-902-012-25 | 7.6 米（25 英尺）BNC 电缆，公型/公型 |
| 782-902-012-50 | 15.2 米（50 英尺）BNC 电缆，公型/公型 |
| 782-902-012-75 | 22.8 米（75 英尺）BNC 电缆，公型/公型 |
耗材
| 名称 | 说明 |
|---|---|
| 石英监控器晶体 |
手册
手册
目录
其他文件