溅射传感器
产品简介
详细信息
- 概述
- 规格
- 零件号
- 附件
- 耗材
- 备件
- 下载
功能
- 镀金铍铜传感器体和冷却管可实现冷却效果
- 磁铁可偏转自由电子，使其远离监控器晶体
- 利用可弯曲的水管轻松安装，灵活放置传感器
- 后装式晶体插入便于更换晶体
规格
| 类型 | Sputtering Sensor | |
|---|---|---|
| 无水时的烘烤温度 | 105°C | |
| 小水流时的工作等温环境温度 | 400° C | |
| 尺寸（大外壳） | 1.36 in. OD x 0.69 in. high (3.45 cm x 1.75 cm) | |
| 水、空气和同轴长度 | Standard 30 in. (76.2 cm) | |
| 晶体交换 | Rear-loading | |
| 安装 | Customer supplied | |
| 安装要求 | ||
| 馈入件 | 2 pass water with coax connector 2¾ in. ConFlat® Flange – IPN 002-043 1 in. Bolt – IPN 002-042
| |
| 其他 | 1) Customer to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water tubes. 2) XIU or Oscillator designed to interface with the specific deposition controller. | |
| 水流速 | Minimum water flow 750 cc/min, 30° C max (Do not allow to freeze) Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. If the water tube passes through a cryoshroud, drain the tubes if the water flow is stopped for any reason. | |
| 材料 | ||
| 主体和支架 | Au plated Be-Cu | |
| 弹簧、电气触点 | Au plated Be-Cu | |
| 水管 | Au plated Be-Cu, 0.125 in. (0.32 cm) O.D. | |
| 连接器 | 304 Stainless steel | |
| 绝缘体 | 99% Al2O3 | |
| 电线 | Teflon® insulated copper | |
| 焊料 | Cadmium free silver and indium alloys | |
| 晶体 | 0.550 in. (1.4 cm) Diameter | |
| 磁铁 | ALNICO 5 Alloy | |
| 可选闸门组件 750-005-G1 规格： | ||
| 温度 | 130° C | |
| 1 in. 螺栓和 Ultra-Torr（压缩接头）端接： | ||
| 材料 | 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON® | |
| 温度 | Operational environment to 300ºC with water cooling or 165ºC without | |
| 安装 | 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture | |
| CF 40 焊接式端接： | ||
| 材料 | 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel | |
| 温度 | Operational environment to 450ºC with water cooling or 165ºC without | |
| 安装 | Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min. | |
零件号
| Sputtering Sensor | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 750-618-G1 | 溅射传感器（仅传感器，不包括馈入件） |
附件
| 名称 | 说明 |
|---|---|
| QCM 传感器馈入件 | QCM 传感器馈入件 |
| Sputtering Sensor | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 750-005-G1 | 用于溅射传感器的气动闸门组件（仅闸门组件，不包括传感器） |
| 750-420-G1 | 电磁阀，24 伏（与带闸门和多晶体传感器配合使用） |
耗材
| 名称 | 说明 |
|---|---|
| 石英监控器晶体 | 石英监控器晶体 |
备件
| Sputtering Sensor | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 007-023 | 陶瓷夹持器 |
| 007-049 | Crystal Holder, Sputtering Sensor |
| 007-007 | 止动弹簧（用于晶体支架） |
| 007-047 | Front Cover, Sputtering Sensor |
| 007-009 | DET, MAGNET |
| 070-0440 | Z5-1 RETAINING RING,SS,PIC |
| 070-0442 | 定位环（安装到闸门组件的轴上） |
| 070-0441 | Spacer, B4-4, Stainless Steel |
| 082-044 | Teflon 螺钉（用于片簧） |
| 082-029-P1 | SCREW 2-56 x .125 LG SOC SET SCR SS |
| 750-009-P2 | COVER, PIVOT FINISHED |
| 750-046-G2 | SPUTTER SHUTTER WELD ASM FIN @ |
| 750-048-P1 | Retainer Spring, CrystalSix |
| 750-115-P4 | 联轴器（安装到波纹管组件） |
| 750-169-P4 | 用于气动闸门组件的波纹管组件 |
| 750-174-P2 | 母型同轴 |
| 750-175-P1 | 绝缘体（片簧下面） |
| 750-188-P3 | 片簧 |
| 008-007 | CRYSTAL SNATCHER |
| 750-619-G1 | Body, Sputtering Sensor |
| 750-626-P1 | Spring, Crystal 12 and Sputtering Sensor |
| In-vacuum cables | |
| 321-039-G12 | 真空电缆，15.2 厘米（6 英寸） |
| 007-252 | 真空电缆，30.5 厘米（12 英寸） |
| 321-039-G11 | 真空电缆，61.0 厘米（24 英寸） |
| 007-044 | 真空电缆，78.1 厘米（30.75 英寸） |
| 007-059 | 真空电缆，91.4 厘米（36 英寸） |
| 007-061 | 真空电缆，121.9 厘米（48 英寸）- 需要 ModeLock 控制器 |
| 321-039-G13 | 真空电缆，154.2 厘米（60 英寸）- 需要 ModeLock 控制器 |
| 321-039-G14 | 真空电缆，182.9 厘米（72 英寸）- 需要 ModeLock 控制器 |
| 321-039-G15 | 真空电缆，3.5 米（137.8 英寸）- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU |
| 321-039-G16 | 真空电缆，4 米（157.5 英寸）- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU |
数据表
- Sputtering Sensor Datasheet (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
手册
- Sputtering Sensor Operating Manual (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
目录
- Thin Film Catalog (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
- 薄膜目录 |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
其他文件
- Sputtering Sensor Shutter Installation Instructions (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|