IQM-233 薄膜沉积控制器 PCI-Express 卡
产品简介
详细信息
功能
- PCI Express
- 三个传感器输入，三个控制输出
- 在 PC 中安装多个卡
- 多源共沉积
- 易于进行 PLC 集成以增加 I/O 功能
- 使用方便
- 物有所值
规格
| 类型 | IQM-233 | |
|---|---|---|
| PC 接口 | PCIe x1 - PCE Express Slot (Std or SFF) | |
| 传感器输入和性能 | ||
| 探头输入 | 3 | |
| 连接器 | SMA - Includes one SMA/BNC adapter | |
| 频率分辨率 (1) | ±0.10 Hz @ 6 MHz | |
| 测量频率范围 | Adjustable: 4.0 MHz minimum 6.1 MHz maximum | |
| 厚度和速率分辨率/测量 (2) | ±0.12 Å | |
| 测量周期 | 0.1 to 2.0 s (adjustable) | |
| 输出 | ||
| 源输出 | 3 | |
| 连接器 | 15-pin high density D-sub | |
| 信号 | 0 to +/- 10 V (dc) | |
| 分辨率 | 15 Bit Plus Sign | |
| 阻抗 | 50 Ω | |
(1) 0.25 秒测量间隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6 赫兹，0.25 秒测量间隔
(2) 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6 赫兹，0.25 秒测量间隔
零件号
| IQM-233 | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 782-IQM-233-G1 | 用于标准 PCI Express 插槽的 IQM-233 QCM 控制器卡 |
| 782-IQM-233-G2 | 用于小尺寸架构 (SFF) PCI Express 插槽的 IQM-233 QCM 控制器卡 |
| 782-IQS-233 | IQS-233 共沉积软件 |
附件
| 名称 | 说明 |
|---|---|
| 前装式单传感器 | |
| 前装式双传感器 | |
| 炫酷抽屉单传感器 | |
| 炫酷抽屉双传感器 | |
| 薄型双传感器 | |
| UHV 可烘烤传感器 | |
| 溅射传感器 | |
| Easy Rate Single Sensor |
| 零件号 | 明细 |
|---|---|
| Oscillator kits | （包括振荡器和电缆） |
| 783-500-109-10 | 3 米（10 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 3 米（10 英尺）BNC 电缆 |
| 783-500-109-25 | 7.6 米（25 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 7.6 米（25 英尺）BNC 电缆 |
| 783-500-109-50 | 15.2 米（50 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 15.2 米（50 英尺）BNC 电缆 |
| 783-500-109-75 | 22.8 米（75 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 22.8 米（75 英尺）BNC 电缆 |
| Oscillator Only | （未随附电缆） |
| 783-500-013 | 仅 OSC-100 振荡器（无电缆） |
| Cables | |
| 600-1441-P1 | SMA 至 BNC 适配器，用于 IQM-233 传感器输入 |
| 782-902-011 | 15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆，公型/母型 |
| 782-902-012-10 | 3 米（10 英尺）BNC 电缆，公型/公型 |
| 782-902-012-25 | 7.6 米（25 英尺）BNC 电缆，公型/公型 |
| 782-902-012-50 | 15.2 米（50 英尺）BNC 电缆，公型/公型 |
| 782-902-012-75 | 22.8 米（75 英尺）BNC 电缆，公型/公型 |
耗材
| 名称 | 说明 |
|---|---|
| 石英监控器晶体 |
手册
手册
目录
其他文件