IC6 薄膜沉积控制器
产品简介
详细信息
功能
- INFICON ModeLock 技术确保获得、的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
- Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
- 支持多六个来源同时共沉积
- 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
- 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
- USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
- 强大的 I/O 凭借其灵活性可融入简单或复杂的系统（使用可扩展输入 (28) 和输出 (24 继电器，14 TTL 输出)，并充分利用逻辑功能（100 个逻辑语句）
- 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
- 可容纳多 50 个过程，每个过程 200 层，这些过程关联到一起，总共可容纳 10,000 层。
- 多路传感器可平均分配为 8 个传感器
- 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
- 可选以太网通信
- Optional IC6 Configuration Editor Software (part number 781-620-G1) - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format.
- 符合 RoHS 标准
典型应用
- 光学镀膜
规格
| 类型 | IC6 | |
|---|---|---|
| 测量性能 | ||
| 频率分辨率 | ±0.0035 Hz @ 6 MHz | |
| 厚度和速率分辨率/测量 (1) | ±0.00433 Å | |
| 测量频率范围 | 6.0 to 4.5 MHz (fixed) | |
| 厚度精度 (2) | 0.5% | |
| 测量周期 | 0.10 s | |
| 多个测量值平均 | 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed | |
| 设计功能 | ||
| Auto Z | yes | |
| 自动色调 | yes | |
| 共沉积 | yes (up to 6 sources) | |
| 过程配方和数据管理 | ||
| 材料计划 | 32 | |
| 过程层（每个过程） | 200 | |
| 过程 | 50 (processes can be linked together) | |
| USB 存储器 | yes | |
| 数据记录 | yes | |
| 硬件功能 | ||
| 传感器 (3) | ||
| 单 | 8 | |
| 双 / CrystalTwo® | 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch) | |
| CrystalSix® | 8 | |
| Crystal 12® | 8 | |
| 通用 | 8 | |
| 来源控制 | ||
| 来源数量 (4) | up to 6 | |
| 来源控制电压 | 0 to +/-10 V, adjustable | |
| 输出分辨率 | 15 bits over full range (0 to 10V) | |
| 坩埚位置 | 64 | |
| 输入 / 输出 | ||
| 输入 | 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground | |
| 输出 | 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs | |
| 记录器输出 (4) | 0 to +10 V, adjustable | |
| 逻辑语句 | 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement | |
| 通信 | ||
| 标准 | RS232 | |
| 可选 | Ethernet | |
| 显示器 | ||
| 厚度分辨率 | 1 Å for 0 to 9.999 kÅ 10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ 100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ 1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ | |
| 速率分辨率 | 0.001 for 0 to 9.999 Å/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater 0.01 for 0 to 99.99 Å/s 0.1 for 100 to 999.9 Å/s | |
| 操作 | ||
| 电源要求 | 100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz | |
| 工作温度 | 0 to 50°C (32 to 122°F) | |
| 尺寸，不包括安装件（高 x 宽 x 深） | 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm) | |
| 重量 | 23 lbs (10.5 kg) | |
(1) 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6 兆赫兹
(2) 随过程变化；数值表示典型的精度
(3) 每种类型的大配置
(4) IC6 有 6 个 DAC 输出标准，还可再选择再添加 6 个。 可将 12 个中的任何一个配置为来源控制电压或记录器输出，但可同时控制的来源数量为 6
附件
| 名称 | 说明 |
|---|---|
| 前装式单传感器 | |
| 前装式双传感器 | |
| 炫酷抽屉单传感器 | |
| 炫酷抽屉双传感器 | |
| 薄型双传感器 | |
| UHV 可烘烤传感器 | |
| ALD 传感器 | |
| 溅射传感器 | |
| CrystalSix® 传感器 | |
| Easy Rate Single Sensor | |
| Crystal 12® 传感器 | |
| RSH-600 旋转式传感器 |
| 零件号 | 明细 |
|---|---|
| 755-262-G1 | Handheld Power Controller |
| 779-220-G1 | CrystalTwo 开关，15.2 cm (6 in.) BNC 电缆 |
| 779-220-G2 | CrystalTwo 开关，50.8 cm (20 in.) BNC 电缆 |
| Oscillator kits | （包括振荡器和电缆） |
| 781-611-G15 | 带 4.6 米（15 英尺）电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
| 781-611-G30 | 带 9.1 米（30 英尺）电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
| 781-611-G50 | 带 15.2 米（50 英尺）电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
| 781-611-G100 | 带 30.5 米（100 英尺）电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
| 781-612-G15 | 带 4.6 米（15 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
| 781-612-G30 | 带 9.1 米（30 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
| 781-612-G50 | 带 15.2 米（50 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
| 781-612-G100 | 带 30.5 米（100 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
| 781-613-G15 | 带 4.6 米（15 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
| 781-613-G30 | 带 9.1 米（30 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
| 781-613-G50 | 带 15.2 米（50 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
| 781-613-G100 | 带 30.5 米（100 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
| Oscillator Only | （未随附电缆） |
| 781-600-G1 | XIU（振荡器）- 用于长度为 15 至 183 厘米（6 至 72 英寸）的 XIU 至传感器头电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
| 781-600-G2 | XIU（振荡器）- 用于长度为 3 至 4 米（118 至 157 英寸）的 XIU 至传感器头电缆 - 与 Cygnus 2 或 IC6 配合使用 |
| Cables | |
| 600-1261-P100 | 30.5 米（100 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU |
| 600-1261-P15 | 4.6 米（15 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU |
| 600-1261-P30 | 9.1 米（30 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU |
| 600-1261-P50 | 15.2 米（50 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU |
| 755-257-G6 | 15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆，XIU 至真空馈入件 |
| Configuration Editor Software | |
| 781-620-G1 | IC6 Configuration Editor Software - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format. |
耗材
| 名称 | 说明 |
|---|---|
| 石英监控器晶体 |
手册
手册
目录
其他文件