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Cygnus 2 薄膜沉积控制器

供应商：
英福康（广州）真空仪器有限公司
企业类型：
其他

产品简介

详细信息

功能

  • INFICON ModeLock 技术确保获得、的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
  • Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
  • 一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制多 6 个来源，无需使用两个或三个控制器
  • 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
  • 10 Hz 测量
  • 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
  • USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
  • 多个源厚度合计功能
  • 测量低密度、低速率材料的平均速率（使用稳定源的低速率 OLED 掺杂材料沉积多 30 秒）
  • 速率显示分辨率可达 0.001Å
  • 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
  • 无沉积控制允许持续控制源，因为基片可以通过沉积室不断循环
  • 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
  • 可选以太网通信
  • 符合 RoHS 标准

规格

类型 Cygnus 2
测量性能  
频率分辨率 ±0.0035 Hz @ 6 MHz
厚度和速率分辨率/测量 (1) ±0.00433 Å
测量频率范围 6.0 to 4.5 MHz (fixed)
厚度精度 (2) 0.5%
测量周期 0.10 s
多个测量值平均 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
设计功能  
多传感器测量 yes (up to 6 sensors)
Auto Z yes
共沉积 yes (up to 6 sensors)
过程配方和数据管理  
材料计划 6 independent materials
USB 存储器 yes
数据记录 yes
硬件功能  
传感器 (3)  
单 6
带 CrystalTwo® 的双 6 (with one CrystalTwo Switch per sensor input)
CrystalSix® 6
Crystal 12® 6
通用 6
来源控制  
来源数量 (4) up to 6
来源控制电压 0 to +/-10 V, adjustable
输出分辨率 15 bits over full range (0 to 10V)
坩埚位置 64
输入 / 输出  
输入 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
输出 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
记录器输出 (4) 0 to +10 V, adjustable
逻辑语句 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
通信  
标准 RS232
可选 Ethernet
显示器  
厚度分辨率

1 Å for 0 to 9.999 kÅ

10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ

100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ

1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ
速率分辨率

0.001 for 0 to 9.999 Å/s

0.01 for 0 to 99.99 Å/s

0.1 for 100 to 999.9 Å/s
操作  
电源要求

100 – 230 V (ac) +/- 15%

50 / 60 Hz +/- 3 Hz

工作温度 0 to 50 C (32 to 122 F)
尺寸，不包括安装件（高 x 宽 x 深） 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm)
重量 13 lbs (5.9 kg)

(1) 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6 兆赫兹

(2) 随过程变化；数值表示典型的精度

(3) 每种类型的大配置

(4) Cygnus 2 有 6 个 DAC 输出标准，还可选择再添加 6 个。  可将 12 个中的任何一个配置为来源控制电压或记录器输出，但可同时控制的来源数量为 6

附件

名称 说明
前装式单传感器 前装式单传感器
前装式双传感器 前装式双传感器
炫酷抽屉单传感器 炫酷抽屉单传感器
炫酷抽屉双传感器 炫酷抽屉双传感器
薄型双传感器 薄型双传感器
ALD 传感器 ALD 传感器
UHV 可烘烤传感器 UHV 可烘烤传感器
溅射传感器 溅射传感器
CrystalSix® 传感器 CrystalSix® 传感器
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
Crystal 12® 传感器 Crystal 12® 传感器
RSH-600 旋转式传感器 RSH-600 旋转式传感器
零件号 明细
755-262-G1 Handheld Power Controller
779-220-G1 CrystalTwo 开关，15.2 cm (6 in.) BNC 电缆
779-220-G2 CrystalTwo 开关，50.8 cm (20 in.) BNC 电缆
Oscillator kits （包括振荡器和电缆）
781-611-G15 带 4.6 米（15 英尺）电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G30 带 9.1 米（30 英尺）电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G50 带 15.2 米（50 英尺）电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G100 带 30.5 米（100 英尺）电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G15 带 4.6 米（15 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G30 带 9.1 米（30 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G50 带 15.2 米（50 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G100 带 30.5 米（100 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G15 带 4.6 米（15 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G30 带 9.1 米（30 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G50 带 15.2 米（50 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G100 带 30.5 米（100 英尺）XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC（XIU 至馈入件）电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
Oscillator Only （未随附电缆）
781-600-G1 XIU（振荡器）- 用于长度为 15 至 183 厘米（6 至 72 英寸）的 XIU 至传感器头电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-600-G2 XIU（振荡器）- 用于长度为 3 至 4 米（118 至 157 英寸）的 XIU 至传感器头电缆 - 与 Cygnus 2 或 IC6 配合使用
Cables
755-257-G6 15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆，XIU 至真空馈入件
600-1261-P15 4.6 米（15 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P30 9.1 米（30 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P50 15.2 米（50 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P100 30.5 米（100 英尺）电缆，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU

耗材

名称 说明
石英监控器晶体 石英监控器晶体

手册

  • Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|

手册

  • Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller Operating Manual (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
  • Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller Operating Manual (Japanese) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
  • CrystalTwo Switch Instruction Sheet (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|

目录

  • Thin Film Catalog (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
  • 薄膜目录 |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|

其他文件

  • IC6/Cygnus 2 Datalogger (Project file) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
  • IC6/Cygnus 2 Datalogger (Install File) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
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