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ALD 传感器

供应商：
英福康（广州）真空仪器有限公司
企业类型：
其他

产品简介

详细信息

好处

  • 与大多数 ALD 过程温度兼容
  • 明显减少维护工作
  • 大化系统运行时间
  • 大化测量精度
  • 在高过程温度下可获得低噪声的稳定读数

功能

  • 工作温度高达 450°C
  • 气体吹扫管路可防止晶体背面出现沉积材料
  • 焊接式 Conflat 法兰 (CF40) 选件
  • O 形密封环压缩接头选件
  • 提供高温晶体

典型应用

  • 原子层沉积 (ALD)
ALD PN.png

附件

零件号 明细
750-1058-G10 120 ℃ 优化晶片，6 MHz，14 mm (0.55 in.)，金，每包 10 片
750-1059-G10 240 ℃优化晶片，6 MHz，14 mm (0.55 in.)，金，每包 10 片
750-1060-G10 285 ℃ 优化晶片，6 MHz，14 mm (0.55 in.)，金，每包 10片

耗材

名称 说明
石英监控器晶体

备件

零件号 明细
007-007 止动弹簧（用于晶体支架）
007-064 陶瓷夹持器
007-094 Clamping Sring, UHV Bakeable Sensor
007-095 Handle, UHV Bakeable Sensor
007-098 母型连接器（包括套圈和螺母）
007-099 可烘烤头部触点
007-100 High Temperature BNC Insulator
007-103 Insulator, UHV Bakeable Sensor
007-104 High Temperature BNC Body, Bakeable
007-147 Vented Screw, 4-40 x 3/8 in.
007-228 SPEC,4-40 X 5/8 VENTED SHC SC
007-267-P2 Spreader Bar, UHV Bakeable Sensor
007-268-P1 Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
007-269-P1 Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
070-201 #4 开口紧锁垫圈
084-069-P1 SCREW 4-40 x .187 LG PHIL FLAT HD SS
750-018-P3 SPLIT CLAMP {THD} {CLEAN} @
750-018-P5 SPLIT CLAMP {CLEAN} @
750-218-G1 Crystal Holder, Bakeable Sensor

数据表

手册

手册

目录

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