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RW-6 测量显微镜

供应商:
苏州瑞文光电科技有限公司
联系人:
张澳 查看联系方式
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产品简介

测量显微镜广泛应用于半导体,电子工业进行晶体,集成电路的检验和**测量.测量显微镜配备有冷光源光纤反射照明,成象和观察系统,偏光装置.测量显微镜

详细信息

测量显微镜广泛应用于半导体,电子工业进行晶体,集成电路的检验和**测量.配备有冷光源光纤反射照明,成象和观察系统,偏光装置.


光学成象系统  Optical  Imaging  System

 

   -----无限远光学系统,管镜焦距200mm

 

    Infinitive  Optical  systam,  Tube  Lens  Focal  Length  200mm

 

-----铰链式三目镜筒,30°倾斜,  瞳距55-75mm

 

    Compensation  Free  Trinocular  Tube,  Inclined  at  30°,  Interpupillary  Distance  55-75mm

 

-----高眼点,大视场目镜WF10X/22

 

    High  Point  and  Wide  Field  Eyepiece  WF10/22

 

-----长工作距离,平场复消色差物镜2X/0.055,  5X/0.14,  10X/0.28,  20X/0.29,  50X/0.42

 

Long  Working  Distance,  Plan  Apo  Objectives  2X/0.055,  5X/0.14,  10X/0.28,  20X/0.29,  50X/0.42

 

------五孔物镜转换器

 

 Quintuple  Nosepiece

 

调焦系统   Focus  Adjustment  System

 

-----同轴粗微调焦机构,微动格值0.002mm

 

    Coaxial  Coarse  &  Fin  Focus  Adjustment  System,  Fine  Division  0.002mm

 

载物台  Stage

 

------  6″x8″双层活动平台,移动行程153x204mm

 

6″x8″Double  Layers  Mechanical  Stage,  Move  Range  153x204mm.

 

三维测量系统  Three-dimensional  Measurement  System

 

-------分辨率:  1μm

 

Resolution:  1μm

 

 -------测量精度:  ±(2+L/200)μm

 

Measurement  Exactitude:  ±(2+L/200)μm

 

 ------重复定位精度:  2μm

 

Repeatedly  Orientation  Exactitude:  2μm

 

照明系统  Illumination  System

 

-------冷光源光纤反射照明器:150W

 

Dold  Light  Fiber  Reflected  Illnminator:  150W

 

完善和**的测量软件

 

--------完整的几何量测(如:点,线,圆,弧,角度等)

 

      Complete  Geometric  Measurement(Point,Line,Circle,  Arc  etc.)

 

--------坐标系的设定,摆正,旋转

 

       Enactment,  Adjustment  of  Reference  Frame

 

--------显示方式多样化;语言的转换,公英制单位的转换,角度的转换

 

       Diversity  of  Display:  Conversion  of  Language,  Measure  and  Angle

 

软件介绍

 

 

完整的几何量测(如:点、线、园、弧、角度等)。
坐标系的设定,摆正、旋转。
逆向工程功能以及与Auto  CAD的同步操作使用以及与CAM的连接。
测量精准度的校正和补偿。
针对重复工件的量测有记忆、学习、自动编程的功能;快速准确的现场实时测量。
显示方式多样化:语言的切换(中文简体和繁体;英文等);公英制单位的切换
(mm/inch);角度的转换(度、度/分/妙);显示数字的小数点可自设;各种线的颜色可自设
标注随意化:可依据不同的语言、颜色、格式在图形的任何位置进行标注。

个性化的编辑:有复制、粘贴、删除、剪切、延伸以及UNDO/REDO。

 

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