仪器网

liteScope™

LiteScope™是一种*的扫描探针显微镜（SPM）。 它设计用于轻松集成到各种扫描电子显微镜（SEM）中。 组合互补的SPM和SEM技术使其能够利用两者的优势。使用LiteScope™及其可更换探针系列，可以轻松进行复杂的样品分析，包括表面形貌，机械性能，电性能，化学成分，磁性能等的表征。LiteScope™的设计还使其可以与其他SEM配件结合使用聚焦离子束（FIB）或气体注入系统（GIS）用于制造纳米/微结构和表面改性。在这种组合中，LiteScope™可对制造的结构进行快速简便的3D检测。此外，LiteScope™开辟了一个全新的测量技术领域，可实现相关显微镜，即所谓的相关探针和电子显微镜（CPEM）。 CPEM技术是市场上的技术。 它可以在同一个地方进行SPM和SEM测量，同时，使用相同的协调系统。 只有CPEM技术才能为您带来SPM和SEM技术相关成像的全部优势。

特点

• LiteScope™可提高性能的SEM升级

• 可作为现有显微镜的插件或作为新的SEM使用

• *的相关探针和电子显微镜（CPEM）技术

• 复杂的表面表征- 形貌，粗糙度，磁性，导电性，电性能

• 自感应探头，无需光学检测，无需激光调整
  

• LiteScope™易于安装到SEM的样品台上/从样品台中取出

• 兼容FIB，GIS，EDX等配件

• 在倾斜位置（角度0°-60°），小工作距离5毫米

• 可伸缩的测量头可释放样品周围的空间

• 市售探针，种类繁多测量模式

• 快速简便地更换探头和样本

• 用户友好的软件，在网络浏览器中操作，轻松远程访问

• LiteScope™也可作为独立的SPM使用

• 
  

• 相关探针和电子显微镜 - CPEM

• 
  

LiteScope™是现有SEM仪器工作方式的强大增强功能。 但是，还有更多的内容。相关显微镜结合了使用两种不同技术对同一物体成像的好处。来自单独图像的数据的相关性提供了关于样本的更详细信息，否则这些信息将太复杂而无法分析。NenoVision开发了*的技术-相关探针和电子显微镜（申请中）-用于相关成像。CPEM能够通过SEM和SPM确定样品区域的表面特征同时使用相同的协调系统。






CPEM技术能够以迄今尚未获得的方式对标准SEM和SPM方法进行相关成像。CPEM同步扫描区域，分辨率和图像失真，并实时关联采集的SPM和SEM图像。

使用已知恒定偏移和相同分辨率的同时扫描可确保在同一表面上执行分析。可以使用我们的NenoView软件在线直接查看生成的图像。