小流量气体流量计
产品简介
详细信息
小流量气体流量计
项目
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参数信息
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大量程
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50sccm-500sccm(可定制)
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精度
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±1%F.S.
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气体类型
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H2/He/N2/Air/Ar（可定制））
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响应时间
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1s
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压差范围
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<1MPa
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工作温度
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0~50℃
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工作湿度
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0~95%R.H.（非冷凝）
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工作电压
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24V±10%/12V±10%
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信号接口
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RS-485（Modbus）
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气路材质
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不锈钢/铝合金/铝合金惰性涂层
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气路接口
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1/16
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尺寸
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55×46×22mm
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小流量气体流量计产品优势：
1、微处理器控制：内部采用可编程未处理器控制，使用PID控制，可实现不同工况条件下进行高速的流量控制。
2、标定方法：执行JJG 1132-2017国家标准，所有产品均采用特定高纯气体标定，确保产品的精度。
可通过标定软件对气体质量流量控制器进行标定，只需将MFC通过RS-485总线与PC连接即可进行标定。
3、RS-484总线接口：内置RS-485总线接口，可选择使用RS-485串口控制或按键控制两种模式。可通过RS-485总线组网，实现多台MFC同时控制。
4、多气体多量程选择：内部设置了多种气体模式（H2、N2、Air、Ar、He等），用户可根据用户手册及使用需求进行操作选择。
同时，本公司提供择不同量程MFC产品，用户可根据需求进行选。
5、紧凑的外形尺寸：尺寸非常小巧紧凑，用户使用时，不但能够减小系统体积和重量，同时能够集成更多的功能模块。