DE3000 美国半导体太阳能实验室DE3000 组合多功能薄膜沉积系统 供应商：德仪科技有限公司 企业类型：代理商 在线询盘 进入展台 产品简介 德仪科技有限公司专业进口美国磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发和脉冲激光真空薄膜沉积设备，以及磁控溅射源/电源、电子束蒸发源、溅射靶材和蒸发材料等。十几年来，凭着的品质，*的技术和周到的技术服务，德仪公司的产品为中国的高校、科研院所及企业的薄膜沉积工作提供了有力的支持。 详细信息 LOAD LOCK连接磁控溅射和电子束蒸发腔体 前开门溅射腔体 多个磁控溅射源 前开门电子束蒸发腔体 多坩埚位旋转电子枪 冷凝泵和干泵 zui大6”基片 基片旋转 基片偏压（可选） 基片加热1000度（可选） 多达四路工艺气体 PID溅射压力控制 系统手动或自动控制 良好的薄膜均匀性和重复性 可沉积金属、半导体和绝缘材料 沉积多层膜及合金薄膜
