DE300 E-BEAM 北京光电实验室DE300 电子束蒸发真空镀膜仪 供应商:德仪科技有限公司 企业类型:代理商 在线询盘 进入展台 产品简介 德仪科技有限公司专业进口美国磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发和脉冲激光真空薄膜沉积设备,以及磁控溅射源/电源、电子束蒸发源、溅射靶材和蒸发材料等。十几年来,凭着的品质,*的技术和周到的技术服务,德仪公司的产品为中国的高校、科研院所及企业的薄膜沉积工作提供了有力的支持。 我们期待为您提供您使用的真空薄膜沉积设备和部件! 详细信息 LOAD LOCK预真空进样室(可选) 前开门蒸发腔体 冷凝泵和干泵 多坩埚位旋转电子枪 zui大6”基片 基片旋转 基片偏压(可选) 离子源清洗基片(可选) 基片加热1000度(可选) 晶振沉积速率及膜厚控制 系统手动或自动控制 良好的薄膜均匀性和重复性 可沉积金属、半导体和绝缘材料 可沉积多层膜