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实验室常用设备其它实验室常用设备镀膜机

DE600 E-BEAM 北京高校光电实验室DE600 电子束蒸发真空镀膜仪

供应商:
德仪科技有限公司
企业类型:
代理商

产品简介

德仪科技有限公司专业进口美国磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发和脉冲激光真空薄膜沉积设备,以及磁控溅射源/电源、电子束蒸发源、溅射靶材和蒸发材料等。十几年来,凭着的品质,*的技术和周到的技术服务,德仪公司的产品为中国的高校、科研院所及企业的薄膜沉积工作提供了有力的支持。

我们期待为您提供您使用的真空薄膜沉积设备和部件!

详细信息

 

  • LOAD LOCK预真空进样室(可选)
  • 前开门蒸发腔体
  • 冷凝泵和干泵
  • 三个电子枪
  • zui大8"基片
  • 基片旋转
  • 基片偏压(可选)
  • 离子源清洗基片(可选)
  • 基片加热1000度(可选)
  • 晶振沉积速率及膜厚控制
  • 系统手动或自动控制
  • 良好的薄膜均匀性和重复性
  • 可沉积金属、半导体和绝缘材料
  • 可沉积多层膜及合金薄膜
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