磁控溅射卷绕镀膜机
产品简介
详细信息
产品简介：磁控溅射卷绕镀膜机是磁控溅射多用途卷绕镀膜设备，适用于在 PET 和无纺布上镀制金属膜（铜，铝等）功能性薄膜，设备采用*的磁控溅射镀膜技术，配备直流、射频磁控溅射系统，适合镀制软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。
技术参数 | 卷膜条件 |
镀膜材料：PET 和无纺布 适用制膜：软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。 基材厚度：125～300μm 有效镀膜宽幅：≤800 mm 大卷绕直径：Φ400 mm 卷绕芯轴内径：4 寸 基材卷绕速度：1～2 m/min 基材卷绕张力：30 ～ 200 N 张力系统：交流伺服 溅镀方式：单面 | |
真空条件 | |
极限真空（空载、洁净）：8×10-4Pa 恢复真空时间（空载、清洁）：105Pa ～ 5×10-3Pa≤60 min 系统真空漏率：1.0×10-10 Pa.m3/s 磁控溅射阴极数量：3 个 膜均匀性偏差：≤±10% |