桌面型高性能磁控溅射系统 Desktop Pro 供应商:上海绘吉电子科技有限公司 企业类型:其他 在线询盘 进入展台 产品简介 详细信息 桌面型高性能磁控溅射系统 Desktop Pro提供了一种高性能,小巧,实惠的磁控溅射系统节省空间Desktop Pro只需要不到36英寸的空间(0.9m)节省费用一个电源可以驱动两个靶枪均匀性好倾斜的靶枪和旋转工件盘使得在整个工件盘上达到5%的镀膜均匀性抽真空速度快抽速65lps的涡轮分子泵,保证系统的抽真空性能和对反应气体的负载能力Desktop Pro产品彩页下载 强大的控制系统基于PLC的触摸屏控制系统提供下列操作模式:维修模式,手动操作模式和半自动操作模式互锁保护避免不适当操作对人员和设备的损害 典型应用磁控溅射磁控溅射材料研究产品质量控制和分析半导体失效分析纳米技术复合半导体 可选项磁控溅射液氮冷阱共溅射射频/直流溅射电源多靶枪质量流量控制器,精确控制气体流量泵选项无油机械泵