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泰勒白光干涉仪/非接触式轮廓仪CCI HD

泰勒霍普森白光干涉仪/非接触式轮廓仪：

CCI HD 是一种非接触式光学 3D 轮廓仪，具有测量薄膜和厚膜的功能。 它采用享有**的新型关联算法，来查找由我们的精密光学扫描装置产生的干涉图的相干峰和相位。 这种新型的 CCI HD 整合了世界**的非接触式尺寸测量功能和先进的厚薄膜测量技术。

CCI HD 除了提供尺寸和粗糙度测量功能，还可以提供两种类型的膜厚测量。 近年来厚膜分析被用于研究厚度至约 1.5 微米的半透明涂料；测量的厚度限制取决于材料的折射率和标的物的 NA。 测量较薄的涂层被证实为难度更高。现在通过干涉测量法可以研究厚度至 50 纳米（同样取决于折射率）的薄膜涂层。 采用这种新型方法，可以在单次测量中研究膜厚、界面粗糙度、针孔缺陷以及薄涂层表面的剥离等特性。

关键特性：

     。 2048 x 2048像素阵列，视场广，高分辨率
     。 全量程0.1埃的分辨率
     。 适用于0.3% - 100%的表面反射率
     。 RMS 重复精度<0.2埃，阶跃高度重复精度<0.1%
     。 多语言版本的64位控制和分析软件

先进的白光干涉仪：

     。 2.2 mm垂直范围，带闭环无压电Z轴扫描仪
     。 AutoStitch作为标准配置，可高分辨率测量大型零件
     。 2048 x 2048像素阵列用于高分辨率的大视野
     。 新型Claritas 20照明系统，角度灵敏度更高，可提高数据质量

提高数据质量：

     。 <0.2Åstrom RMS重复性，<0.1％台阶高度重复性
     。 FEA优化的机械设计，具有出色的R＆R功能
     。 在整个测量范围内的分辨率为0.1埃
     。 内置防振功能，可实现*佳数据质量

无限的应用可能性

表面的三个元素对于组件的功能至关重要。 **的粗糙度能力与大面积测量，先进的数据分析（2D和3D）以及泰勒·霍布森（Taylor Hobson）的专业知识相结合，可提供业界**的计量技术。 许多用户依靠CCI MP-HS解决其他仪器*无法处理的测量问题。凭借出色的量程、*高的分辨率以及操作简便的优势，成为在众多应用场合中研发和质量保证的理想工具。