KW-4A 中科院微电子研究所匀胶机/旋涂仪送3吸盘
产品简介
详细信息
中科院微电子研究所匀胶机/旋涂仪送3吸盘
适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A、KW-4T和KW-5型。
产品主要特点
1、开关电流调速,稳定性能更好,转速调节以数字显示为准。
2、转速在500~8000转/分范围内非常稳定。
3、采用双转速。在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动转换到高速运转。两种转速及相应的时间分别可调,时间分别控制在1~18秒和3秒~1分钟。
4、具有定时功能。
5、测速采用光电的办法,产生光电脉冲,由晶体分频测速准确性高。
6、"吸片"采用电磁阀控制气路,一个气泵可同时带几台匀胶机工作,适合流水线的工艺,提高了效率。
7、在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音低。
中科院微电子研究所匀胶机/旋涂仪送3吸盘参数
参数 | 指标 |
调速范围和匀胶时间 | Ⅰ档调速范围:500-2000转/分Ⅰ档匀胶时间:2-18秒 Ⅱ档调速范围:1300-8000转/分Ⅱ档匀胶时间:3-60秒 |
适用 | Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等匀胶 |
电机功率 | 40W |
LED数字显示 | 转速稳定度:±1%,胶的均匀性:±3% |
真空泵抽气速率 | ≥60升/分 |
仪器尺寸 | 210×220×160mm |